权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

高強度パルスイオンビーム法によるアルミニウム表面の金属ガラス形成

采用高强度脉冲离子束法在铝表面形成金属玻璃

基本信息

批准号：
18656205
负责人：
池野進
金额：
$ 2.18万
依托单位：
University of Toyama
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2007
项目状态：
已结题

项目摘要

金属ガラスの新製造法およびアルミニウム材料の表面改質の新手法の開発を行うために、高強度パルス重イオンビームをアルミニウム表面に照射して、金属ガラス薄膜の作製を試みた。アルミニウム、ガドリニウム、ニッケルの3種の元素で構成された典型的なアルミニウム基の金属ガラス成分で合金を作製し、高強度パルス重イオンビームで極表面を照射して溶解した結果、アモルファスもしくは金属ガラス化したX線プロファイルが得られた。ナノインデンテーションにより、形成した薄膜の硬さを測定した結果、イオンビームを照射していない部分と比較し、照射した部分は約4倍の硬さを持っていることがわかった。さらに、同種の元素を使用して、化学蒸着堆積法によってSi基板上に薄膜を形成した。形成された薄膜は、金属光沢を示し、化合物の生成は見られず、電子顕微鏡用プラズマ成膜装置により試料表面を洗浄しその表面を電子顕微鏡によって観察したところ,組織が非常に均一でその表面は平坦であることが確認された。形成された薄膜の元素分析を行った結果、得られた薄膜が典型的なアルミニウムの金属ガラス成分であり、アモルファスもしくは金属ガラス化したX線プロファイルを示した。この薄膜において、イオンビーム照射を行うことにより、これまで未解明であったアモルファス薄膜の相変態に関する機構に対し、重要な学術的見地が得られることが期待される。本法を適用することにより、金属基板の極表面に金属ガラス膜を形成させる手法が開発され、表面改質薄膜の新しい作成法が開発された。今後は、通常のアルミニウム合金上に金属ガラスの薄膜を形成させ、表面強度を上げることによる傾斜材料の開発が期待される。

A new production method for metal coatings and a new method for surface modification of metal coatings. The composition of the three elements is typical of the metal-based alloy composition. The high-intensity irradiation of the polar surface dissolves the result of the X-ray irradiation of the metal. The hardness of the film was measured by the method of measuring the thickness of the film. The hardness of the film was measured by the method of measuring the thickness of the film. The same elements are used to form thin films on Si substrates by chemical vapor deposition. The formation of thin films, metal coatings, and chemical compounds was confirmed by electron microscopy. The results of elemental analysis of the thin films formed showed that the thin films were typical of metal species. This film is the most important part of the film's structure and academic insight. This method is applicable to the development of a method for forming a metal film on the electrode surface of a metal substrate and a new method for preparing a surface modified film. In the future, it is expected that metal films will be formed on ordinary alloys, and the development of inclined materials will be improved.