Research of homoepitaxial growth of zinc oxide film using liquid beta-diketons of metal organic material

液态金属有机材料β-二酮同质外延生长氧化锌薄膜的研究

• 批准号: 19656013
• 负责人: HAGA Koichi
• 金额: $ 2.05万
• 依托单位: Sendai National College of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19656013/
• 关键词: 酸化亜鉛; 薄膜; ベータジケトン系原料; エピタキシャル成長; 酸化亜鉛基板; βジケトン系原料; 有機金属

项目成果

アセチルアセトン亜鉛ファイバーを用いたMO-CVD法によるZnO薄膜のエピタキシャル成長

乙酰丙酮锌纤维MO-CVD法外延生长ZnO薄膜

• 发表时间: 2009
• 作者: 小野寺尚志;佐久間実緒;関成之;羽賀浩一
• 通讯作者: 羽賀浩一

昇華・再結晶化プロセスによる無水アセチルアセトン亜鉛ファイバーの作製と評価

升华/重结晶法制备无水乙酰丙酮锌纤维及性能评价

• 发表时间: 2009
• 作者: 関成之;小野寺尚志;関沢拓実;佐久間実緒;羽賀浩一;関良之;澤田豊;宍戸統悦
• 通讯作者: 宍戸統悦

Epitaxial growth of ZnO films prepared by MO-CVD using Zn(C_9H_<15>O_3)_2

Zn(C_9H_<15>O_3)_2 MO-CVD 外延生长 ZnO 薄膜

• 发表时间: 2008
• 期刊: J. Korean Physical Soc. 53
• 作者: K. Haga;T. Chiba;M. Onodera;T. Kadota;C. Hasegawa
• 通讯作者: C. Hasegawa

Homo-epitaxial growth on ZnO substrate by MO-CVD using (C_5H_7O_2)_2

使用 (C_5H_7O_2)_2 通过 MO-CVD 在 ZnO 衬底上进行同质外延生长

• 发表时间: 2007
• 期刊: Surface Review and Letters 14
• 作者: K. Haga;T. Shishido;K. Nakajima;T. Matsunaga
• 通讯作者: T. Matsunaga