课题基金 / 基金详情

キャピラリ放電型再結合励起を用いた短波長軟X線レーザの開発

キャピラリ放電型再結合励起を用いた短波長軟X線レーザの開発
利用毛细管放电复合激发的短波长软X射线激光器的研制
批准号:
19656074
负责人:
堀田 栄喜
金额:
$2.11万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份:
2007
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2007 至 2008

项目摘要

项目成果

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現有設備の改良により,再結合励起による水素様窒素の軟X線レーザ発振(波長13.4nm)を世界で初めて実現することを最終目的としている。昨年度,スイッチ部およびキャピラリ部の構造改良による浮遊インダクタンスの低減を行い,従来の1/3程度までにすることができ,放電電流の増大の可能性を示した。本年度はさらに,中間水コンデンサとキャピラリ負荷を伝送線路で接続し,シミュレーションにより,伝送線路め特性インピーダンスを変化させた場合に,反射電圧波の重畳を利用することによって大電流化および短パルス化が可能なことを見出し,実験により確認した。その結果,電流値65kA以上,パルス幅70ns程度の放電電流を得ることができた。再結合レーザ実現の可能性を探るため,直径3mm,長さ80〜150mmのキャピラリに窒素を封入して放電を行い,窒素プラズマの電離過程を検証した。シミュレーション結果によれば,4価の窒素イオンが放電開始と共に電流層内側に生ずる衝撃波によって生成され,軸上に衝撃波が達した瞬間には5価まで急激に電離される。その後,150eV程度のピンチプラズマが数nsの間維持され,6価のイオンが徐々に増加していく。その後,さらに数nsの時間を掛けて7価の窒素イオンが生成されることが分かった。実験では,放射光をXRDを用いて計測し,波長20nm以下のXRD信号と波長3nm以下のXRD信号の計測結果から,放電開始後20ns付近から,2-5価のイオンからの放射が確認され,放電電流が70kA程度に達した後,再度,ピークの2/3程度まで電流が減少した時刻に,水素様窒素の1s-2p遷移(2.5nm)または水素様窒素の上位準位から1sへの再結合放射光が観測され,最大ピンチ時に,水素様窒素が存在していることが明らかになった。今後,分光計測により,小信号利得の計測を行い,再結合励起レーザ発振の可能性を調べる予定である。
期刊论文(11)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Development of High Power Pumping System for Capillary Duscharge EUV Laser
毛细管放电EUV激光器高功率泵浦系统的研制
DOI: --
发表时间: 2008
期刊: NIFS 2007 Coordinated Research (Symposium) NIFS-PROC-72
影响因子: --
作者: [Yusuke Sakai, Takanori Komatsu, Masato Watanabe, et al.]
通讯作者: et al.
水素様窒素再結合励起型軟X線レーザ発振に向けたパルスパワーシステムの開発
类氢氮复合激发软X射线激光振荡脉冲电源系统的研制
DOI: --
发表时间: 2007
期刊: 電気学会研究会資料 PPT-07
影响因子: --
作者: [高橋俊輔, 酒井雄祐, 渡邊正人, 沖野晃俊, 堀田栄喜]
通讯作者: 堀田栄喜
Hig Voltage Capillary Discharge System for Excitation of Soft X-Ray Laser
用于软 X 射线激光激发的高压毛细管放电系统
DOI: --
发表时间: 2007
期刊:
影响因子: --
作者: [宮坂啓, 小田哲治, Eiki Hotta, Yusuke Sakai]
通讯作者: Yusuke Sakai
Measurement of Divergence of Ne-like Ar Soft X-ray Laser Generated by Capillary Z-Pinch Discharge
毛细管Z箍缩放电类氖氩软X射线激光发散度测量
DOI: --
发表时间: 2007
期刊: PN.J.Appl.Phys, 47[2] 47
影响因子: --
作者: [Y. Hayashi, H. Ghomi, Y. Zhao, Y. Cheng, Y. Sakai, M. Watanabe, A. Okino, K. Horioka, E. Hotta]
通讯作者: E. Hotta
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    キャピラリーZピンチ放電型極端紫外露光光源の研究
    • 批准号:
      04F04328
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for JSPS Fellows
    • 资助金额:
      $0.77万
    • 财政年份:
      2004
    • 负责人:
      堀田 栄喜
    • 依托单位:
    キャピラリ放電型軟X線レーザの短波長化
    • 批准号:
      15656073
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额:
      $2.3万
    • 财政年份:
      2003
    • 负责人:
      堀田 栄喜
    • 依托单位:
    双極性パルスパワー電源を用いた高効率気体分解処理
    • 批准号:
      11875067
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额:
      $1.41万
    • 财政年份:
      1999
    • 负责人:
      堀田 栄喜
    • 依托单位:
    Zピンチ方式による卓上型軟X線レーザの開発
    • 批准号:
      08875016
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额:
      $1.41万
    • 财政年份:
      1996
    • 负责人:
      堀田 栄喜
    • 依托单位:
    海外基金