权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

アリールオニウム塩のビーム誘起酸発生機構の解明

阐明芳鎓盐的光束诱导产酸机制

基本信息

批准号：
07650993
负责人：
山本幸男
金额：
$ 0.9万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1995
资助国家：
日本
起止时间：
1995 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

光酸発生剤としてリソグラフィーに用いられているジフェニルヨードニウム塩およびトリフェニルスルホニウム塩の光分解反応の機構については多くの研究が報告されており、励起状態からのC-I結合あるいはC-S結合の切断を経る酸発生機構が明らかにされている。一方、高エネルギービーム誘起反応については、系統的な研究がなされていない。本研究では、リソグラフィーの高解像度化を目指して、電子線やγ線によるビーム誘起反応について研究を行った。電子線やγ線照射によって誘起される反応の機構は光分解のそれとは異なり、溶媒や添加物より生成する様々な活性種との反応によりブレーンステズ酸、カルボカチオンまたはラジカルカチオンを生成する。水溶性のジフェニルヨードニウムクロライドを用いて、水溶液のパルスラジオリシスにより、水和電子やOHラジカルと塩との反応によるブレーンステズ酸発生の機構が明らかになった。また、γ線分解によるブレーンステズ酸のG値や水和電子による塩の一電子還元反応の速度定数を求めた。塩化メチレン溶液のパルスラジオリシスでは、多環芳香族化合物やジフェニルポリエンのジフェニルヨードニウム塩による一電子酸化反応について検討を行った。これらの比較的酸化電位の低い溶質が塩により速やかにラジカルカチオンに酸化される事が明らかになった。ポリ(α-メチルスチレン)のジフェニルヨードニウム塩による架橋反応については、パルスラジオリシスによりポリマーカチオンの生成過程を検討した。また、生成する酸の拡散による解像度の低下を防ぐために、ポリスチレンスルホン酸のような高分子電解質を対アニオンとする塩の合成を行った。

Photoacid irritation raw materialドニウム塩およびトリフェニルスルホニウム塩のoptical decomposition and reflection mechanismについては多くのResearch がされており, RISING STATUS からのC-I combinationあるいはC-S combined のcut を経る acid 発生 mechanism が明らかにされている. On the one hand, the high level of research on the system caused the backlash. This study focuses on the high-resolution research on high-resolution electronics and the research on electron beams and gamma rays that induce reactions. Electron beam, gamma ray irradiation, induced reaction mechanism, photodecomposition, and solvent and additive generation.る様々なActive species and とのによりブレーンステズ acid,カルボカチオンまたはラジカルカチオンを生する. Water-soluble のジフェニルヨードニウムクロライドをいて, aqueous solution のパルスラジオリシスにより, Water and electrons are the same as the water and electrons.また, γ line decomposition によるブレーンステズ acid のG値や water and electron による塩の一electron reduction reaction 応のspeed fixed number をfind めた. Polycyclic aromatic compounds やジフェニルポリエンのジフェニルヨードニウム塩による一electronic acidification reaction 応について検question を行った. The acidification potential of これらの is low and the solute is が塩によりspeed やかにラジカルカチオンにAcidification される事が明らかになった.ポリ(α-メチルスチレン)のジフェニルヨードニウム塩による bridging reaction につThe generation process of いては, パルスラジオリシスによりポリマーカチオンの is done.また、Generate acid の拡san による Resolution のlow を Prevention ぐために、ポリスチレンスルホン acid のような polymer electrolyte を対アニオンとする塩の synthesized を行った.