極薄研磨保持具の高速製造法に関する研究

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水晶の周波数特性はそれ自身の厚みに依存している.したがって,高い発振周波数を得るために,その厚みは年々薄肉化している.水晶は,通常キャリアと呼ばれるブルースチール製の保持具に固定されて両面研磨されて薄肉化される.水晶自体が年々薄肉化しているので,当然保持具であるキャリアも薄く,高強度のものが必要になってきている.しかし,従来工法でキャリアを水晶の薄肉化トレンドにあわせようとするのには既に限界に達しつつあり,従来とは違う工法でキャリアを製造することが求められ始めている.本研究では,この従来技術の代替技術として,電鋳技術を利用した極薄研磨保持具の高速製造法の確立に取り組んだ.得られた結果を下記に列挙する.(1)スルファミン酸ニッケル浴から所望の形状精度の薄肉キャリアを製造するために必要な,浴組成,電流量,電極形状,剥離手法を検討した.(2)(1)の結果からブルースチール製のキャリアと同じ形状で薄さの薄いのキャリアの製造に成功した.(3)(2)のキャリアでは形状精度は達成できるものの,靭性が不足しでおり,チタン酸カリウム繊維を共析させるとよいことがわかった.(4)チタン酸カリウムを適切に共析させるために,チタネート系カップリング剤を用いると共析が促進され靭性が向上することがわかった.(5)得られた電鋳キャリアに撥水処理を施すことで,キャリアの寿命を向上できる.(6)32μmの得られた電鋳キャリアで60μmの水晶の研磨に成功した.