電気化学反応の精密制御による電鋳プロセスの高精度化

通过精确控制电化学反应提高电铸工艺的精度

• 批准号: 18J23036
• 负责人: 山口 豪太
• 金额: $ 1.79万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2018
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2018-04-25 至 2021-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18J23036/
• 关键词: 電鋳; X線ミラー; めっき; 超精密加工

本研究は、電鋳法の高精度化とX線回転体ミラー作製への応用を目的に研究を行っている。第一年度では電析条件が転写面粗さ・形状転写精度に与える影響を定量的に明らかにした。第二年度では、第一年度の研究で得られた知見を活かし、電鋳法の高精度化を進めた結果、従来法と比較して１桁以上高い数十ナノメートルオーダの転写精度を得ることに成功した。さらに、X線自由電子レーザー(XFEL)施設であるSACLAにおいて実際に作製したミラーの光学性能を評価し開発したプロセスの優位性を示した。第三年度では、これまで得られた結果について、国際学会において発表するとともに、国際学術論文への投稿準備を進めた。さらに、これまで開発した高精度な電鋳プロセスのもうひとつの応用として、X線望遠鏡用結像ミラーの作製に研究を発展させた。大口径な結像ミラー作製のための作製装置を新たに開発した。基礎実験により作製条件を最適化した後、X線望遠鏡用ウォルターミラーの作製を実施した。ウォルターミラーの作製と評価に関して、国際学会において報告した。

This study aims to improve the accuracy of electrophotography and X-ray retrophotography. In the first year, the electric analysis conditions include the thickness of the surface, the shape of the surface, the accuracy of the surface, and the quantity of the surface. In the second and first years of research, we have obtained the results of high accuracy of electrophotography, high accuracy of electrophotography, and high accuracy of electrophotography. In addition, X-ray free electron spectroscopy (XFEL) was used to evaluate the optical properties of SACLA and its development. In the third year, the preparation for submission of international academic papers was advanced. In addition, the development of high-precision electronic devices and X-ray telescopes has been carried out. The large-aperture semiconductor device has been developed. After optimizing the basic operating conditions, the X-ray telescope is operated with a single lens. The International Academy of Sciences reports on the work of the International Academy of Sciences.

项目成果

Development of precise electroformed Wolter mirror for X-ray astronomy

开发用于 X 射线天文学的精密电铸沃尔特镜

• DOI: 10.1117/12.2569834
• 发表时间: 2020
• 期刊: SPIE Proceedings
• 作者: Gota Yamaguchi;Takehiro Kume;Yoko Takeo;Yusuke Matsuzawa;Kentaro Hiraguri;Yoichi Imamura;Hiroaki Miyashita;Keisuke Tamura;Yusuke Takehara;Ayumu Takigawa;Tetsuo Kanoh;Kenji Tachibana;Ikuyuki Mitsuishi;Hirokazu Hashizume;Hidekazu Mimura
• 通讯作者: Hidekazu Mimura

Effect of Electrodeposition Conditions on Surface Roughness of Copper Electroformed Replicas

电沉积条件对铜电铸复制品表面粗糙度的影响

• DOI: 10.2526/ijem.25.33
• 发表时间: 2020
• 期刊: International Journal of Electrical Machining
• 作者: G. Yamaguchi;H. Mimura
• 通讯作者: H. Mimura

Focusing Soft x-rays by Cu-electroformed Ellipsoidal Mirror

通过铜电铸椭圆面镜聚焦软 X 射线

• 发表时间: 2019
• 作者: Gota Yamaguchi;Shigeki Owada;Yuya Kubota;Hiroto Motoyama;Satoru Egawa;Makina Yabashi;Hidekazu Mimura
• 通讯作者: Hidekazu Mimura