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Bi 微粒子を分散した絶縁性薄膜の物性測定と高速応答光検出器への応用に関する研究

Bi 微粒子を分散した絶縁性薄膜の物性測定と高速応答光検出器への応用に関する研究
Bi颗粒分散绝缘薄膜物性测量及其在高速响应光电探测器中的应用研究
批准号:
57460057
负责人:
服部 健雄
金额:
$4.61万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
财政年份:
1982
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1982 至 1983
关键词:

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断面光電子分光法による非晶質シリコン酸化膜の組成および結合状態密度の深さ方向分析
  • 批准号:
    13025243
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $26.94万
  • 财政年份:
    2001
  • 负责人:
    服部 健雄
  • 依托单位:
その場観察用X線光電子分光分析器の開発とシリコン酸化・窒化極薄膜の形成機構の解明
  • 批准号:
    01065003
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Specially Promoted Research
  • 资助金额:
    $153.6万
  • 财政年份:
    1989
  • 负责人:
    服部 健雄
  • 依托单位:
超ULSIのための高品質SiO_2極薄膜の作成とSiO_2/Si界面の極微細構造評価
  • 批准号:
    62460062
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
  • 资助金额:
    $4.42万
  • 财政年份:
    1988
  • 负责人:
    服部 健雄
  • 依托单位:
極微構造における電子現象の基礎的研究
  • 批准号:
    59103012
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Special Project Research
  • 资助金额:
    $5.44万
  • 财政年份:
    1984
  • 负责人:
    服部 健雄
  • 依托单位: