Micron Sized Robot Using Reversible Shape Memory Alloy Actuators

使用可逆形状记忆合金执行器的微米级机器人

• 批准号: 03805021
• 负责人: KURIBAYASHI Katsutoshi
• 金额: $ 1.28万
• 依托单位: Faculty of Engineering,Yamaguchi University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1991
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1991 至 1992
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-03805021/
• 关键词: Reversible shape memory alloy; RSMA actuator; Micro-robot; Micron-sized actuator; RTiNi thin film; RTiNi薄膜; RSMAアクチュエ-タ; ミクロンサイズアクチュエ-タ; RTiNiアクチュエ-タ

Summary of this project is as follows. (1)A Micron sized arm of 1000mum length was designed. (2)Control method was established using 1 degree of freedom of millimeter sized arm of 6000mum length. (3)One degree of freedom of micron sized arm was fabricated on silicon wafer by wet etching method. (4)Lower temperature 500ﾟC for crystalization of TiNi which will contribute on the solution of the problem "TiNi thin film peels off from substrate due to the difference of the rate of expansion", was found. (5)The etching condition for deep etch of Si below the TiNi film was found.

该项目的概要如下。(1)A设计了长度为1000 μ m的微米级臂。（2）建立了长度为6000 μ m的毫米级机械臂的单自由度控制方法。（3）采用湿法腐蚀方法在硅片上制作了单自由度的微米级机械臂。（4）找到了较低的TiNi晶化温度（500 ℃），这将有助于解决“TiNi薄膜因膨胀率不同而从衬底上剥落”的问题。（5）找到了TiNi薄膜下Si的深腐蚀条件。

项目成果

Tamura,Kuribayashi,Simizu,Taniguchi: "Experimental Study of Micro Air Valve Using Thin Film of Shape Memory Alloy" Preprint of Student Conference of JSME Chugoku-Shikoku. 283/284. (1993)

Tamura，Kuribayashi，Simizu，Taniguchi：“使用形状记忆合金薄膜的微型空气阀的实验研究”JSME中国四国学生会议预印本。

Kuribayashi,Simizu,Nishinohara,Taniguchi,Yoshitake,Ogawa: "Machining of Micron-Sized Arm Using Thin Film of Reversible Shape memory Alloy" Preprint of 2nd Meeting of Micro Basic Engineering. 19/24. (1993)

Kuribayashi，Simizu，Nishinohara，Taniguchi，Yoshitake，Okawa：“利用可逆形状记忆合金薄膜加工微米级手臂”第二届微观基础工程会议预印本。

栗林 勝利,西ノ原 隆行,谷口 隆雄 吉竹 正明,小川 倉一: "形状記憶合金のスパッタ薄膜とその応用" 日本真空協会関西支部平成4年度第2回研究例会資料. 21-27 (1992)

Katsutoshi Kuribayashi、Takayuki Nishinohara、Takao Taniguchi、Masaaki Yoshitake 和 Kuraichi Okawa：“形状记忆合金的溅射薄膜及其应用”日本真空协会关西分会，1992 年第 2 次例会资料（1992 年）。

K.Kuribayashi, T.Taniguchi,M.yoshitake & S.Ogawa: "Micron Sized Arm Using Reversible TiNi Alloy Thin Film Actuators" Mat.Res.Soc.Symp Proc.Vol.276.167-175 (1992)

K.Kuribayashi, T.Taniguchi,M.yoshitake

栗林 勝利,堀川 正義 谷口 隆雄: "可逆形状記憶合金を用いたミクロンサイズロボットの研究" 日本機械学会中国四国支部第30期総会・講演会. 308-313 (1992)

Katsutoshi Kuribayashi、Masayoshi Horikawa、Takao Taniguchi：“使用可逆形状记忆合金的微米级机器人的研究”日本机械工程师学会中国四国分会第30届会员大会和讲座308-313（1992年）。