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陽極酸化アルミナ膜への非金属封入技術に関する研究

阳极氧化铝膜非金属封装技术研究

基本信息

批准号：
06650381
负责人：
馬場一隆
金额：
$ 1.28万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1994
资助国家：
日本
起止时间：
1994 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-06650381/
关键词：
アルミナ陽極酸化偏光子薄膜

项目摘要

本研究では、安価なアルミニウム基盤を陽極酸化することによって生ずる細孔(ボア)に各種の媒質を封入する技術を確立すると同時に、光学特性に優れ、且つまた、大量生産に適する光デバイスの製作法について研究することを目的とした。得られた成果は以下の通りである。1。低温・大電流陽極酸化による大口径偏光子の製作通常の陽極酸化法で用いられている電流密度の、1桁以上大きな電流密度で陽極酸化すると、アルミニウムの一部は完全には酸化されず、アルミニウムが残留する現象を見いだした。この残留アルミニウムは、基板に垂直で細長い構造をしているので、ワイヤグリッド型の偏光子として機能する。陽極酸化されたアルミナを基板から剥離し、プリズムで挟むことにより、大口径の偏光子を実現することが可能となった。ただ、挿入損失が1dB程度なので、更に低損失化に向けて酸化条件を改善している。2。ポアへのUV硬化樹脂封入によるY分岐の製作陽極酸化されたアルミナ膜には多数のポアが存在する。このポアにアルミナの屈折率より大きな屈折率を持つ誘電体を封入することにより、簡単にコアークラッド構造をもつ薄膜導波路を製作することが可能である。Y型を形成するマスクを用い、UV硬化樹脂を封入し、多モードY分岐をアルミナ薄膜上に製作した。十分特性の良い分岐回路を製作できることが判った。3。ポアへの液晶封入ポアへ浸析法を用い液晶を封入し、光スイッチの可能性について検討した。

This study aims to establish a technique for sealing various media into a substrate by anodizing the substrate, optimizing optical properties, and manufacturing optical media suitable for mass production. The results of the study are as follows: 1。Low temperature, high current anodizing, large-aperture polarization, the production of ordinary anodizing method, the use of medium and high current density, more than one beam of high current density anodizing, partial anodizing, complete acidification, residual phenomenon is seen. This residual light source has a vertical elongated structure on the substrate, and it can be used as a polarizer. Anodic acidification is possible because of the separation of substrates and the presence of polarizers with large apertures. In addition, the penetration loss is reduced to 1 dB, and the acidification conditions are improved. 2。The UV curable resin of the coating is sealed in the anode and most of the coating is present. The refractive index of the optical fiber is larger than that of the optical fiber. The dielectric fiber is encapsulated in the optical fiber. The optical fiber structure is simple, and the thin film waveguide is fabricated. Y-type resin encapsulation, multi-layer film fabrication A good split circuit is produced by a very good characteristic. 3。The possibility of liquid crystal encapsulation and optical separation is discussed by using liquid crystal encapsulation and optical separation leaching method.