权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

波長走査干渉を用いた透明マスクガラスの屈折率・幾何学的厚さの同時測定に関する研究

波长扫描干涉同时测量透明掩模玻璃折射率和几何厚度的研究

基本信息

批准号：
15H06139
负责人：
金亮鎭
金额：
$ 1万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
财政年份：
2015
资助国家：
日本
起止时间：
2015-08-28 至 2016-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-15H06139/
关键词：
干渉計位相検出アルゴリズム表面形状光学的厚さ位相誤差

项目摘要

半導体産業で広く使われているリソグラフィー装置の中に精密に研磨された透明平板が数多く使われている．さらなる半導体性能の向上のために透明平板の表面形状・光学的厚さを精密に測定しなければならない．本研究ではSurrelの特性多項式理論に基付き，6N-5 位相検出アルゴリズムを開発した．6N-5 位相検出アルゴリズムは多項式の窓関数と離散フーリエ変換項で構成されており，従来の4N-3 アルゴリズムと同じようなベル型の窓関数である．また，位相検出アルゴリズムで計算される位相誤差の種類を考察し，位相シフト誤差のみならず位相シフト誤差と高調波との間で発生するカップリング誤差にも注目した．透明平行平板と高反射率表面を有する試料Fizeau干渉計を用いて測定する際には多面干渉の影響が大きくなり，カップリング誤差も十分考慮しなければならない．本研究ではカップリング誤差による影響も数式化し，従来の位相検出アルゴリズムと新しく開発した6N-5 アルゴリズムを比較した．その結果，反射率に関係なく6N-5 アルゴリズムが一番優れた位相検出能力を有していることが分かった．最後に透明平行平板の表面形状と光学的厚さの変動成分をFizeau干渉計と6N-5 アルゴリズムを用いて測定した．測定誤差を従来のアルゴリズムより優れており，6N-5 アルゴリズムの有用性を検証した．

The semiconductor industry has a large number of transparent plates in precision grinding equipment. The semiconductor properties are measured accurately by the surface shape and optical thickness of transparent plates. In this paper, we study the theory of Surrel characteristic polynomial, which is based on the theory of 6N-5 phase detection, the theory of 6N-5 phase detection. In addition, when we examine the types of phase errors calculated by the phase detection software, we pay attention to the magnitude of phase error, including the large number of phase errors that occur between phase error and high modulation. A transparent parallel plate with a high reflectivity surface is tested using a Fizeau dry meter. The effect of multi-faceted dry surface is greatly considered. This study compares the influence of errors on the numerical model of the future phase. As a result, the reflectivity relationship is 6N-5. The reflectivity of the light source is 6N-5 N. Finally, the surface shape and optical thickness of the transparent parallel plate are measured by Fizeau dry meter and 6N-5 optical fiber. The measurement error is due to the high quality of the sample. 6N-5 is due to the usefulness of the sample.

项目成果

期刊论文数量（6）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Measurement of highly reflective surface shape using wavelength tuning Fizeau interferometer and polynomial window function

DOI：
10.1016/j.precisioneng.2016.02.011
发表时间：
2016-07
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
影响因子：
3.6
作者：
Yangjin Kim;N. Sugita;M. Mitsuishi
通讯作者：
Yangjin Kim;N. Sugita;M. Mitsuishi

Measurement of optical thickness variation of BK7 plate by wavelength tuning interferometry

波长调谐干涉测量BK7板光学厚度变化