新型複合干渉計と波長走査を用いたレンズ曲率半径の絶対値測定手法の開発
新型複合干渉計と波長走査を用いたレンズ曲率半径の絶対値測定手法の開発
开发使用新型复合干涉仪和波长扫描测量透镜曲率半径绝对值的方法
批准号：
16K17993
负责人：
金 亮鎭
金额：
$2.66万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2017-03-31
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英文摘要
本研究では曲面レンズの絶対曲率半径の測定を目的として複合型干渉計の開発及び新しい位相検出アルゴリズムの開発を行う予定であった．途中中断により複合型干渉計の開発は行えなかったが，既存の位相検出アルゴリズムの性能を大幅に超える6N-5位相検出アルゴリズムの開発に成功し，透明試料の光学的厚さ分布の変動成分と表面形状の同時測定を研究期間中に行った．6N-5位相検出アルゴリズムは同研究者の開発した4N-3位相検出アルゴリズムと同様にSurrelの特性多項式を基盤として開発された．特性単位円上に六重根を配置し，特性多項式を展開することによって6N-5位相検出アルゴリズムのサンプリング振幅が得られた．また，カップリング誤差にも注目して他位相検出アルゴリズムと性能評価を行った結果，6N-5位相検出アルゴリズムが一番優れた性能を示すことが分かった．6N-5位相検出アルゴリズムの開発を行う前に5N-4アルゴリズムの開発を行い，シリコンウエハーの表面形状の測定を行った．6N-5位相検出アルゴリズムとFizeau型波長走査干渉計を用いて透明試料の光学的厚さ分布の変動成分と表面形状の同時測定を行い，いずれの結果も従来の位相検出アルゴリズムを用いた結果より高い精度で測定できることがわかった．
期刊论文(5)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
DOI：
10.1364/ao.55.000171
发表时间：
2016
期刊：
Applied Optics
影响因子：
1.9
作者：
[Yangjin Kim, Kenichi Hibino, Naohiko Sugita and Mamoru Mitsuishi]
通讯作者：
Naohiko Sugita and Mamoru Mitsuishi
DOI：
10.1016/j.optlaseng.2016.06.021
发表时间：
2016-11
期刊：
Optics and Lasers in Engineering
影响因子：
4.6
作者：
[Yangjin Kim;K. Hibino;N. Sugita;M. Mitsuishi]
通讯作者：
Yangjin Kim;K. Hibino;N. Sugita;M. Mitsuishi
DOI：
10.1016/j.precisioneng.2016.02.011
发表时间：
2016-07
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
影响因子：
3.6
作者：
[Yangjin Kim;N. Sugita;M. Mitsuishi]
通讯作者：
Yangjin Kim;N. Sugita;M. Mitsuishi
波長走査干渉を用いた透明マスクガラスの屈折率・幾何学的厚さの同時測定に関する研究
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批准号：15H06139
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项目类别：Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
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资助金额：$1.0万
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财政年份：2015
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负责人：金 亮鎭
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依托单位：
海外基金
