Investigation of Dominant Mechanical Parameters on Function and Life Time of Thin Multi-Layered Structures
Investigation of Dominant Mechanical Parameters on Function and Life Time of Thin Multi-Layered Structures
批准号:
18206013
负责人:
KISHIMOTO Kikuo
金额:
$31.12万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份:
2006
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2006 至 2008
中文摘要
半導体デバイスやマクロセンサーなどのマイクロシステムは種々の材料から構成される多層薄膜構造体であることが特徴である. 本研究では, このような多層薄膜構造体の機能・寿命特性を支配する表面・界面の力学場パラメータを明らかにすることを目的として, 従来のナノインデンテーション試験, マルチステージピール試験のよるはく離過程の観察・評価に加えて, 多軸駆動型はく離法を新たに開発し, 界面特性を精度良く評価できる手法を提示するとともに, 界面強度特性を結合力モデルによって考慮した有限要素解析を行い, はく離進展の挙動を明らかにしている.
英文摘要
半導体デバイスやマクロセンサーなどのマイクロシステムは種々の材料から構成される多層薄膜構造体であることが特徴である. 本研究では, このような多層薄膜構造体の機能・寿命特性を支配する表面・界面の力学場パラメータを明らかにすることを目的として, 従来のナノインデンテーション試験, マルチステージピール試験のよるはく離過程の観察・評価に加えて, 多軸駆動型はく離法を新たに開発し, 界面特性を精度良く評価できる手法を提示するとともに, 界面強度特性を結合力モデルによって考慮した有限要素解析を行い, はく離進展の挙動を明らかにしている.
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批准号:24656082
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财政年份:2012
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负责人:KISHIMOTO Kikuo
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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资助金额:$31.03万
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财政年份:2010
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负责人:KISHIMOTO Kikuo
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依托单位:
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批准号:15206014
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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负责人:KISHIMOTO Kikuo
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负责人:KISHIMOTO Kikuo
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