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Investigation of Dominant Mechanical Parameters on Function and Life Time of Thin Multi-Layered Structures

Investigation of Dominant Mechanical Parameters on Function and Life Time of Thin Multi-Layered Structures
对薄多层结构的功能和寿命的主要力学参数的研究
批准号:
18206013
负责人:
KISHIMOTO Kikuo
金额:
$31.12万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份:
2006
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2006 至 2008

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
半導体デバイスやマクロセンサーなどのマイクロシステムは種々の材料から構成される多層薄膜構造体であることが特徴である. 本研究では, このような多層薄膜構造体の機能・寿命特性を支配する表面・界面の力学場パラメータを明らかにすることを目的として, 従来のナノインデンテーション試験, マルチステージピール試験のよるはく離過程の観察・評価に加えて, 多軸駆動型はく離法を新たに開発し, 界面特性を精度良く評価できる手法を提示するとともに, 界面強度特性を結合力モデルによって考慮した有限要素解析を行い, はく離進展の挙動を明らかにしている.
英文摘要
半導体デバイスやマクロセンサーなどのマイクロシステムは種々の材料から構成される多層薄膜構造体であることが特徴である. 本研究では, このような多層薄膜構造体の機能・寿命特性を支配する表面・界面の力学場パラメータを明らかにすることを目的として, 従来のナノインデンテーション試験, マルチステージピール試験のよるはく離過程の観察・評価に加えて, 多軸駆動型はく離法を新たに開発し, 界面特性を精度良く評価できる手法を提示するとともに, 界面強度特性を結合力モデルによって考慮した有限要素解析を行い, はく離進展の挙動を明らかにしている.
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会议论文
Development of measurement system for micro-scale impact load in cavitation bubble collapse
  • 批准号:
    24656082
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额:
    $2.5万
  • 财政年份:
    2012
  • 负责人:
    KISHIMOTO Kikuo
  • 依托单位:
Study on Chemo-Mechanical Field Dominating Function and Strength of Surface and Interface of Materials
  • 批准号:
    22246014
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额:
    $31.03万
  • 财政年份:
    2010
  • 负责人:
    KISHIMOTO Kikuo
  • 依托单位:
Study on Interfacial Strength between Dissimilar Materials with Micro-layered Structure
  • 批准号:
    15206014
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额:
    $32.12万
  • 财政年份:
    2003
  • 负责人:
    KISHIMOTO Kikuo
  • 依托单位:
Study on Generalized Criteria of Interfacial Strength between Dissimilar Materials
  • 批准号:
    12450045
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额:
    $5.63万
  • 财政年份:
    2000
  • 负责人:
    KISHIMOTO Kikuo
  • 依托单位:
国内基金
海外基金
高性能抗氧化BOPP薄膜加工关键技术研究
  • 批准号:
  • 项目类别:
    省市级项目
  • 资助金额:
    --
  • 批准年份:
    2026
  • 负责人:
    王晓丽
  • 依托单位:
汽车后视镜用高耐腐蚀银合金薄膜材料开发
  • 批准号:
  • 项目类别:
    省市级项目
  • 资助金额:
    --
  • 批准年份:
    2026
  • 负责人:
    林改
  • 依托单位:
基于稀疏天线阵列的薄膜铌酸锂光学相控阵
  • 批准号:
    JCZRMS202600414
  • 项目类别:
    省市级项目
  • 资助金额:
    --
  • 批准年份:
    2026
  • 负责人:
  • 依托单位:
CsₓWO₃/CeO₂异质结的构建及其自修复透明隔热薄膜研究
  • 批准号:
    2026JJ50456
  • 项目类别:
    省市级项目
  • 资助金额:
    --
  • 批准年份:
    2026
  • 负责人:
    谭彦妮
  • 依托单位: