Investigation of Dominant Mechanical Parameters on Function and Life Time of Thin Multi-Layered Structures

对薄多层结构的功能和寿命的主要力学参数的研究

• 批准号: 18206013
• 负责人: KISHIMOTO Kikuo
• 金额: $ 31.12万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18206013/
• 关键词: 界面強度; 薄膜; ナノインデンターション; マルチピール試験; 結合力モデル; 高分子; セラミックス; 界面; ナノインデンテーション; 紫外線; 不均質材料; ピール試験; 圧電材料; SH波

半導体デバイスやマクロセンサーなどのマイクロシステムは種々の材料から構成される多層薄膜構造体であることが特徴である. 本研究では, このような多層薄膜構造体の機能・寿命特性を支配する表面・界面の力学場パラメータを明らかにすることを目的として, 従来のナノインデンテーション試験, マルチステージピール試験のよるはく離過程の観察・評価に加えて, 多軸駆動型はく離法を新たに開発し, 界面特性を精度良く評価できる手法を提示するとともに, 界面強度特性を結合力モデルによって考慮した有限要素解析を行い, はく離進展の挙動を明らかにしている.

The semiconductor device is composed of a variety of materials and is a multi-layer thin film structure. This study aims to investigate and evaluate the separation process of multi-layer thin film structures dominated by surface and interface mechanical fields, and to develop new methods for multi-axis dynamic separation. The interface characteristics are evaluated with good accuracy. The interface strength characteristics are combined with force. The finite element analysis is carried out. The separation progress is clearly indicated.