Study on Chemo-Mechanical Field Dominating Function and Strength of Surface and Interface of Materials

材料表面与界面的化学-机械场支配作用及强度研究

• 批准号: 22246014
• 负责人: KISHIMOTO Kikuo
• 金额: $ 31.03万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-22246014/
• 关键词: マイクロ材料力学; 界面力学; 高分子材料; ピール試験; タック試験; 界面強度; ナノインデンテーション; 逆問題解析; 多軸駆動形はく離試験; 引掻き試験; 圧子接着試験

In this study, surface and interface properties of the multilayer structures are investigated. Methods to evaluate the mechanical properties of films are developed through inverse approach. A method for evaluating interface strength is developed and interface strength is evaluated by using two-axes-driven peel method Surface scratch test and probe tack test developed are also conducted.

在这项研究中，多层结构的表面和界面特性进行了研究。提出了一种利用反求法评价薄膜力学性能的方法。提出了一种评价界面强度的方法，并用双轴驱动剥离法评价了界面强度，并进行了表面划痕试验和探针粘着试验。

项目成果

Evaluation of the Interfacial Strength by Peeling & Indentation Method

通过剥离评估界面强度

• 发表时间: 2010
• 作者: 山田学; 平原徹 ;保原麗; 長 谷 川 修 司;Kikuo Kishimoto
• 通讯作者: Kikuo Kishimoto

Identification of Thin Films Young's Modulus from Continuous Indentation Test and Inverse Analysis

连续压痕试验和反演分析识别薄膜杨氏模量

• 发表时间: 2010
• 作者: Joris Prou;Kikuo Kishimoto;Andrei Constantinescu
• 通讯作者: Andrei Constantinescu

Study on Peeling Behavior in Pick-up Process of IC Chip with Adhesive Tapes

• DOI: 10.1299/jmmp.4.1051
• 发表时间: 2010
• 期刊: Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering
• 作者: N. Saiki;K. Inaba;K. Kishimoto;H. Seno;K. Ebe

Identification of Young’s Modulus from Indentation Testing and Inverse Analysis

• DOI: 10.1299/jmmp.4.781
• 发表时间: 2010-03
• 期刊: Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering
• 作者: J. Prou;K. Kishimoto;A. Constantinescu

粘接着テープを用いた半導体製造工程におけるピックアップ性能評価

使用胶带评估半导体制造过程中的拾取性能

• 发表时间: 2010
• 期刊: 日本機械学会論文集(A編)
• 作者: M. Yamada;T. Hirahara;R. Hobara;S. Hasegawa;佐伯尚哉,市川功,因幡和晃,岸本喜久雄
• 通讯作者: 佐伯尚哉,市川功,因幡和晃,岸本喜久雄