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Fabrication of ordered nano-and microstructures on semiconductors using self-organized materials and their applications

Fabrication of ordered nano-and microstructures on semiconductors using self-organized materials and their applications
利用自组织材料在半导体上制备有序纳米和微米结构及其应用
批准号：
20241026
负责人：
ONO Sachiko
金额：
$29.7万
依托单位：
Kogakuin University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2008 至 2011
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20241026/
关键词：
ナノ材料ナノバイオ先端機能デバイス半導体超微細加工材料加工・処理ナノ構造形成・制御半導体超微細化

项目摘要

项目成果

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We developed novel fabrication techniques, which are not achievable by conventional lithography techniques based on the dry process, for semiconductors(Si, GaAs, and InP) and light metals(Al and Ti) to form ordered nano-and microstructures by wet process using the structural feature of spontaneously generated patterns.
期刊论文(255)
专著(0)
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会议论文
アパタイト付与によるマグネシウムの耐食性の改善
添加磷灰石提高镁的耐蚀性
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [小林大記, 阿相英孝, 小野幸子]
通讯作者： 小野幸子
High-aspect-ratio atructures of pore and pillar arrays of semiconductors fabricated by wet etching using sphere photolithography
使用球光刻湿法蚀刻制造半导体孔和柱阵列的高深宽比结构
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [S. Ono, S. Kotaka, J. Iwata, K. Fujihara and H. Asoh]
通讯作者： K. Fujihara and H. Asoh
Thermal Stability and Regularity of Nano-Porous Anodic Alumina Membrane Formed on Recrystallized Aluminum
再结晶铝上形成的纳米多孔阳极氧化铝膜的热稳定性和规整性
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [F.Rashidi, H.Asoh, S.Ono]
通讯作者： S.Ono
アルマイトの基礎理論と応用技術
防蚀铝基础理论及应用技术
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Kitahara, T. Matsui, and S. Mizuno, Kanji Yoh, 立木茂雄（本莊雄一）, 鈴木重雄・正本英紀・井坂利章・古川順啓・東彰一・大田直友・鎌田磨人, 吉田映子, 小野幸子]
通讯作者： 小野幸子
共 273 条
    Development of an educational Program for proper placement of special nursing home for nursing staff and development of care maneger
    • 批准号：
      26463453
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.24万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      ONO Sachiko
    • 依托单位：
      Miyagi University
    Fabrication of porous oxide films with three dimensional ordered periodicity on semiconductors and metals bawd on colloidal crystal templating and its applications
    • 批准号：
      17310077
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.24万
    • 财政年份：
      2005
    • 负责人：
      ONO Sachiko
    • 依托单位：
      Kogakuin University
    A Study on the Structure of Nursing Care to Facilitate Ego Development for the Aged
    • 批准号：
      15592327
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.92万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      ONO Sachiko
    • 依托单位：
      Gifu College of Nursing
    Growth mechanism of surface oxide films on magnesium and magnesium alloys and nano-scale control of film structure
    • 批准号：
      15560629
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.37万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      ONO Sachiko
    • 依托单位：
      Kogakuin University
    海外基金