Enhancement of diamond machined RSA-Al501 surfaces for optical applications by process integrated Ion Beam Etching
通过工艺集成离子束蚀刻增强用于光学应用的金刚石加工 RSA-Al501 表面
基本信息
- 批准号:452333040
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:德国
- 项目类别:Research Grants
- 财政年份:
- 资助国家:德国
- 起止时间:
- 项目状态:未结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
The overall objective of the project is the production of metal optics for the UV VIS range through a process chain consisting of ultra-precision machining and subsequent ion beam machining. The working hypothesis of the project is the assumption that the changes in the sub-surface caused by ultra-precision machining have an influence on the ion beam processes. The aim of the project is to gain fundamental knowledge about the material properties after machining with geometrically defined diamond tools in RSA-501 as well as their effects on ion beam-based smoothing and removal processes. From this, process strategies and parameters for shape correction and surface smoothing using ion beam machining in RSA-501 are derived. The generation of the continuous and discontinuous geometries by means of ultra-precision machining currently enables roughness values of the blaze flanks in the range Rq > 2nm. Through the knowledge gained in the project, it is expected that, especially through the investigations of the interaction of ion beam with the surface, roughness values below Rq < 0.5 nm [ARC18] with shape deviations < 2 nm can be realised. In the second funding period, it will be focused on improving the quality of structured surfaces. This includes the basic modelling of the type and characteristics of the change in the sub-surface zone, the establishment of a fundamental technological basis for machining the RSA alloys relevant to the different requirements, and the combination of both processes to achieve the overall goal.
该项目的总体目标是通过由超精密加工和后续离子束加工组成的工艺链生产 UV VIS 系列的金属光学器件。该项目的工作假设是超精密加工引起的次表面变化对离子束过程产生影响的假设。该项目的目的是获得有关使用 RSA-501 中几何定义的金刚石刀具加工后材料特性的基础知识,以及它们对基于离子束的平滑和去除过程的影响。由此,导出了在 RSA-501 中使用离子束加工进行形状校正和表面平滑的工艺策略和参数。目前,通过超精密加工生成连续和不连续的几何形状,可以使火焰侧面的粗糙度值在 Rq > 2nm 范围内。通过该项目中获得的知识,尤其是通过离子束与表面相互作用的研究,预计可以实现低于 Rq < 0.5 nm [ARC18] 且形状偏差 < 2 nm 的粗糙度值。在第二个资助期,它将专注于提高结构化表面的质量。这包括对亚表面区域变化的类型和特征进行基本建模,为加工与不同要求相关的RSA合金建立基础技术基础,以及两种工艺的结合以实现总体目标。
项目成果
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