A study of power generator from environment energy using MEMSresonators

利用MEMS谐振器利用环境能源发电的研究

• 批准号: 23860022
• 负责人: ISHIBASHI Koichiro
• 金额: $ 2万
• 依托单位: The University of Electro-Communications
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-23860022/
• 关键词: MEMS; エネルギーハーベスティング; マイクロマシン; 電子デバイス; 低消費電力

A MEMS resonator to harvest energy from environmental radio waves has been investigated. An ultra-low power LSI can operate with the energy. A cantilever and torus type MEMS resonators have been investigated. It is clear that torus resonator store larger energy of 8.2E-10[J] than a cantilever does 5.7E-11[J]. A torus resonator was fabricated and we 996KHz resonant frequency is observed which is almost same frequency of the analysis.

研究了一种从环境无线电波中收集能量的 MEMS 谐振器。超低功耗LSI可以利用该能量进行工作。研究了悬臂梁和环面型 MEMS 谐振器。很明显，环面谐振器存储的能量8.2E-10[J]比悬臂梁存储的能量5.7E-11[J]。制作了环形谐振器，我们观察到 996KHz 谐振频率，这几乎与分析的频率相同。

项目成果

カンチレバー型MEMS共振器の設計

悬臂MEMS谐振器设计

• 发表时间: 2013
• 作者: 日下部圭佑;井上雄策;長谷川翔一;石橋孝一郎
• 通讯作者: 石橋孝一郎

カンチレバー型MEMS 共振器の設計

悬臂MEMS谐振器设计

• 发表时间: 2013
• 作者: 日下部 圭佑;井上 雄策;長谷川 翔一; （石橋 孝一郎）
• 通讯作者: （石橋 孝一郎）

電気通信大学 石橋研究室

电气通信大学石桥实验室