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Development of single nano materials based on quantum beam and data science

Development of single nano materials based on quantum beam and data science
基于量子束和数据科学的单纳米材料的开发
批准号：
18H03895
负责人：
Kozawa Takahiro
金额：
$27.96万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
2018
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2018-04-01 至 2023-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18H03895/
关键词：
放射線、X線、粒子線半導体超微細化シミュレーション工学計算物理データ科学

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Synthesis of hyperbranched polyacetals containing C-(4-t-butylbenz)calix[4]resorcinarene: Resist properties for extreme ultraviolet (EUV) lithography
含有 C-(4-t-丁基苯并)杯[4]间苯二酚的超支化聚缩醛的合成：极紫外 (EUV) 光刻的抗蚀性能
DOI： 10.1016/j.reactfunctpolym.2018.08.013
发表时间： 2018
期刊： Reactive and Functional Polymers
影响因子： 5.1
作者： [Kudo Hiroto, Fukunaga Mari, Shiotsuki Kohei, Takeda Hiroya, Yamamoto Hiroki, Kozawa Takahiro, Watanabe Takeo]
通讯作者： Watanabe Takeo
Defect Risks in Chemically Amplified Resists Used for Extreme Ultraviolet Lithography
用于极紫外光刻的化学增强抗蚀剂的缺陷风险
DOI： --
发表时间： 2022
期刊：
影响因子： --
作者： [中村 直人, Takahiro Kozawa]
通讯作者： Takahiro Kozawa
Stochastic Effects in Chemically Amplified Resists Used for Extreme Ultraviolet Lithography
用于极紫外光刻的化学放大光刻胶的随机效应
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [堀岡正崇, 荒川　雅, 南川賢人, 西川享佑, 河野知生, 寺嵜　亨, T. Kozawa]
通讯作者： T. Kozawa
Resist thickness dependence of latent images in chemically amplified resists used for electron beam lithography
用于电子束光刻的化学放大抗蚀剂中潜像的抗蚀剂厚度依赖性
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [Gao Yunpeng, Feng Chi, Seo Tamae, Kubota Koji, Ito Hajime, T. Kozawa and T. Tamura]
通讯作者： T. Kozawa and T. Tamura
共 55 条
    Demonstration of water vapor-assisted joining in heating environment and application to fabricating porous electrodes for secondary batteries
    • 批准号：
      15K17917
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.66万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      Kozawa Takahiro
    • 依托单位：
      Osaka University
    Study on nanochemistry in latest nanofabrication materials using quantum beams
    • 批准号：
      25246036
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $29.04万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      Kozawa Takahiro
    • 依托单位：
      Osaka University