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Study on nanochemistry in latest nanofabrication materials using quantum beams

Study on nanochemistry in latest nanofabrication materials using quantum beams
利用量子束研究最新纳米加工材料的纳米化学
批准号：
25246036
负责人：
Kozawa Takahiro
金额：
$29.04万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2018-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-25246036/
关键词：
放射線、X線、粒子線半導体超微細化シミュレーション工学計算物理放射線、Ｘ線、粒子線

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Stochastic Effect on Contact Hole Imaging of Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists
化学放大极紫外光刻胶接触孔成像的随机效应
DOI： 10.7567/jjap.52.086501
发表时间： 2013
期刊： Jpn. J. Appl. Phys.
影响因子： --
作者： [Masaaki Nagatsu, Anchu Viswan, Tomy Abuzairi, Mitsuru Okada, Kuniaki Sugiura, Retno W. Purnamaningsih, and Nji R. Poespawat, 木村拓也, T. Kozawa and T. Hirayama]
通讯作者： T. Kozawa and T. Hirayama
Stochastic effects in chemically amplified resists
化学放大抗蚀剂中的随机效应
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [S. Kishimoto, T. Mitsui, R. Haruki, Y. Yoda, S. Shimazaki, M. Saito, M. Ikeno, and M. Tanaka, 長嶋 智典，勝俣 洋典，浜屋 宏平，宮尾 正信，澤野 憲太郎, T. Kozawa]
通讯作者： T. Kozawa
Effects of diffusion constant of photodecomposable quencher on chemical gradient of chemically amplified extreme-ultraviolet resists
光分解猝灭剂扩散常数对化学放大极紫外光刻胶化学梯度的影响
DOI： 10.7567/jjap.54.056502
发表时间： 2015
期刊： Jpn. J. Appl. Phys.
影响因子： --
作者： [T. Kozawa]
通讯作者： T. Kozawa
Dynamics of radical cations of poly(4-hydroxystyrene) in the presence and absence of triphenylsulfonium triflate as determined by pulse radiolysis of its highly concentrated solution
通过脉冲辐射分解高浓度溶液测定聚（4-羟基苯乙烯）在三苯锍三氟甲磺酸盐存在和不存在下的自由基阳离子动力学
DOI： 10.1016/j.cplett.2016.05.058
发表时间： 2016
期刊： Chem. Phys. Lett.
影响因子： --
作者： [K. Okamoto, T. Ishida, H. Yamamoto, T. Kozawa, R. Fujiyoshi, and K. Umegaki]
通讯作者： and K. Umegaki
共 41 条
    Development of single nano materials based on quantum beam and data science
    • 批准号：
      18H03895
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $27.96万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      Kozawa Takahiro
    • 依托单位：
      Osaka University
    Demonstration of water vapor-assisted joining in heating environment and application to fabricating porous electrodes for secondary batteries
    • 批准号：
      15K17917
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.66万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      Kozawa Takahiro
    • 依托单位：
      Osaka University