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電界促進効果による超薄膜拡散バリア層の形成機構
电场促进效应超薄扩散势垒层的形成机理
基本信息
- 批准号：22246086
- 负责人：
- 金额：$ 13.31万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- 财政年份：2010
- 资助国家：日本
- 起止时间：2010 至 无数据
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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专著数量（0）
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