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Advancement of Filtered Arc Deposition System and Fabrication and Processing of High-Quality Hydrogen-Free DLC Films

Advancement of Filtered Arc Deposition System and Fabrication and Processing of High-Quality Hydrogen-Free DLC Films
过滤电弧沉积系统的改进及高质量无氢DLC薄膜的制备与加工
批准号：
24246048
负责人：
TAKIKAWA Hirofumi
金额：
$30.12万
依托单位：
Toyohashi University of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
2012
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2012-04-01 至 2015-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-24246048/
关键词：
フィルタードアーク蒸着ダイヤモンドライクカーボ ン膜微細加工ナノテクノロジーパターニングエッチングMEMSダイヤモンドライクカーボン膜高品質化前処理均一成膜膜厚制御異物フリー技術くし形微細加工

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チタンバッファーを用いたシリコン基板上に成長したダイアモンドライクカーボン
使用钛缓冲剂在硅基底上生长类金刚石碳
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [稲田優貴, 神谷朋輝, 松岡成居, 熊田亜紀子, 池田久利, 日高邦彦, 金子智，松永崇，池永薫，伊藤健，安井学，堀内崇弘，安原重雄，三尋木勝洋，熊谷正夫，滝川浩史，下平英二，小林昌純，須藤理枝子，松田晃史，吉本護]
通讯作者： 金子智，松永崇，池永薫，伊藤健，安井学，堀内崇弘，安原重雄，三尋木勝洋，熊谷正夫，滝川浩史，下平英二，小林昌純，須藤理枝子，松田晃史，吉本護
Expansion of lattice constants of aluminum nitride thin film prepared on sapphire substrate by ECR plasma sputtering method
ECR等离子体溅射法在蓝宝石衬底上制备氮化铝薄膜晶格常数的扩展
DOI： 10.7567/jjap.53.11ra11
发表时间： 2014
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [S Kaneko, H Torii, T Amazawa, T Ito, M Yasui, M Kurouchi, A Fukushima, T Tokumasu, S Lee, S Park, H Takikawa, M Yoshimoto]
通讯作者： M Yoshimoto
PDMSモールドを用いた室温硬化ナノインプリント法によるDLCのナノ加工技術
使用PDMS模具的室温固化纳米压印方法的DLC纳米加工技术
DOI： --
发表时间： 2014
期刊： コンバーテック
影响因子： --
作者： [清原修二,石川一平,松田将平]
通讯作者： 清原修二,石川一平,松田将平
Fabrication of Micro-OLEDs by Room-temperature Curing Contact-imprint Using DLC Molds
使用 DLC 模具通过室温固化接触压印制造微型 OLED
DOI： 10.1557/opl.2012.1711
发表时间： 2013
期刊： Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
影响因子： --
作者： [I. Ishikawa, K. Sakurai, S. Kiyohara, C. Ito, H. Tanoue, Y. Suda, H. Takikawa, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima]
通讯作者： Y. Kurashima
共 52 条
    Feasibility study on solar energy converter using nanotube electron emitter
    • 批准号：
      23656197
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      TAKIKAWA Hirofumi
    • 依托单位：
      Toyohashi University of Technology
    Development of filtered-arc-deposition source with activated anode and preparation of functional-amorphous carbon film
    • 批准号：
      21360131
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.65万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      TAKIKAWA Hirofumi
    • 依托单位：
      Toyohashi University of Technology
    Development of Mass-Production Technique of Carbon Nanohorn Based on Arc discharge Method
    • 批准号：
      15310087
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $8.45万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      TAKIKAWA Hirofumi
    • 依托单位：
      Toyohashi University of Technology
    High Speed Production of Nanotube film for Cold Cathode Electron Emitter and Its Property Evaluation
    • 批准号：
      13650342
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.56万
    • 财政年份：
      2001
    • 负责人：
      TAKIKAWA Hirofumi
    • 依托单位：
      Toyohashi University of Technology