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Development of filtered-arc-deposition source with activated anode and preparation of functional-amorphous carbon film

Development of filtered-arc-deposition source with activated anode and preparation of functional-amorphous carbon film
活性阳极过滤电弧沉积源的研制及功能性非晶碳膜的制备
批准号：
21360131
负责人：
TAKIKAWA Hirofumi
金额：
$11.65万
依托单位：
Toyohashi University of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2009
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2009 至 2011
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360131/
关键词：
電気機器真空アーク真空アークプラズマフィルタードアーク蒸着機能性アモルファスカーボン薄膜ダイヤモンドライクカーボン薄膜均一成膜異種元素ドーピング手法光学膜厚モニタプラズマガン光学特性密度・硬度

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
在真空电弧等离子体功能薄膜沉积装置方面，我们设计并研制了一种新型的过滤电弧沉积系统，用于在DLC薄膜中掺杂异种元素，制备高质量（高平整度、均匀性、无液滴）DLC薄膜。对器件性能进行了评价，并制备了异种元素掺杂DLC膜。
英文摘要
About a functional film deposition apparatus using the vacuum arc discharge plasma, we designed and developed a new filtered-arc-deposition system for doping dissimilar element into DLC film and preparing high-quality(high smoothness, uniform and droplet-free) DLC film. Apparatus function was assessed and dissimilar element doped DLC film was prepared.
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会议论文
Removal of diamond-like carbon film by oxygen-dominated plasma beam converted from filtered carbon-cathodic arc
过滤碳阴极电弧转化的氧主导等离子束去除类金刚石碳膜
DOI： --
发表时间： 2011
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [H. Tanoue, M. Kamiya, Y. Suda, S. Oke, H. Takikawa, Y. Hasegawa, M. Taki, N. Tsuji, T. Ishikawa, H. Yasui]
通讯作者： H. Yasui
Ashing of DLC film by oxygen plasma beam converted from filtered carbon-cathodic-arc
过滤碳阴极电弧转化的氧等离子束灰化 DLC 薄膜
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Sakamoto, T. Iida, S. Kurosaki, K. Yano, H. Taguchi, K. Nishio, and Y. Takanashi, 松井幹彦, 田上英人]
通讯作者： 田上英人
高品質DLC膜形成に向けた真空アークプラズマビームの制御
真空电弧等离子束控制可形成高质量 DLC 薄膜
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [Shinichiro MUROOKA, Keisuke TOMODA, Nobukazu HOSHI, Junnosuke HARUNA, Meifen CAO, Atsuhiro YOSHIZAKI and Keiichi HIRATA, 滝川浩史]
通讯作者： 滝川浩史
フィルタードアーク蒸着法で形成したDLC膜の膜質に及ぼす基板バイアスの影響
基底偏压对过滤电弧蒸镀法形成DLC膜膜质量的影响
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [Qi Zhang, Xiangdong Sun, Yanru Zhong, Biying Ren and Mikihiko Matsui, 柏木大幸]
通讯作者： 柏木大幸
共 65 条
    Advancement of Filtered Arc Deposition System and Fabrication and Processing of High-Quality Hydrogen-Free DLC Films
    • 批准号：
      24246048
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $30.12万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      TAKIKAWA Hirofumi
    • 依托单位：
      Toyohashi University of Technology
    Feasibility study on solar energy converter using nanotube electron emitter
    • 批准号：
      23656197
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      TAKIKAWA Hirofumi
    • 依托单位：
      Toyohashi University of Technology
    Development of Mass-Production Technique of Carbon Nanohorn Based on Arc discharge Method
    • 批准号：
      15310087
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $8.45万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      TAKIKAWA Hirofumi
    • 依托单位：
      Toyohashi University of Technology
    High Speed Production of Nanotube film for Cold Cathode Electron Emitter and Its Property Evaluation
    • 批准号：
      13650342
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.56万
    • 财政年份：
      2001
    • 负责人：
      TAKIKAWA Hirofumi
    • 依托单位：
      Toyohashi University of Technology
    海外基金