Precise control of nanoparticle deposition using plasma
Precise control of nanoparticle deposition using plasma
使用等离子体精确控制纳米颗粒沉积
批准号：
26246036
负责人：
Shiratani Masaharu
金额：
$26.46万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2019-03-31
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Spatiotemporal Non-uniformity of CVD Plasmas and Film Qualities (Invited)
CVD等离子体和薄膜质量的时空非均匀性（特邀）
CVD等离子体和薄膜质量的时空非均匀性（特邀）
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[M. Erbar, K. Kuwada and K.-T. Sturm, M. Shiratani]
通讯作者：
M. Shiratani
反応性プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎの相関関係解析
反应等离子体与纳米颗粒相互作用波动的相关分析
反应等离子体与纳米颗粒相互作用波动的相关分析
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[周靭, 森研人, 大友洋, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治]
通讯作者：
白谷正治
Effects of electrostatic field direction on dust accumulation to mirror in a plasma reactor
静电场方向对等离子体反应器中镜子灰尘积累的影响
静电场方向对等离子体反应器中镜子灰尘积累的影响
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[R. Katayama, T. Fang, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, S. Masuzaki, N. Ashikawa, M. Tokitani, K. Nishimura, A. Sagara]
通讯作者：
A. Sagara
Interaction potential fluctuation between binary collisions of fine particles suspended in low pressure Ar rf plasmas
低压Ar射频等离子体中悬浮细颗粒二元碰撞之间的相互作用势波动
低压Ar射频等离子体中悬浮细颗粒二元碰撞之间的相互作用势波动
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[M. Soejima, H. Ohtomo, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani]
通讯作者：
M. Shiratani
反応性プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎの時空間構造解析
反应等离子体与纳米粒子之间相互作用波动的时空结构分析
反应等离子体与纳米粒子之间相互作用波动的时空结构分析
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[森研人, 添島雅大, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治]
通讯作者：
白谷正治
共 201 条
Anisotropic plasma CVD using pressure-controlled micro plasmas
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批准号：16K13922
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项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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资助金额：$2.33万
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财政年份：2016
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负责人：Shiratani Masaharu
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依托单位：
Novel nanoparticle detection method using compact drift tube
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批准号：26600126
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项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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资助金额：$2.5万
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财政年份：2014
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负责人：Shiratani Masaharu
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依托单位：
海外基金