偏光・波面制御システムによる超微細金属ホログラフィックパターニング技術の創成

利用偏振/波前控制系统创建超精细金属全息图案技术

• 批准号: 22H01987
• 负责人: 小野 篤史
• 金额: $ 11.23万
• 依托单位: Shizuoka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2022
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2022-04-01 至 2025-03-31
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-22H01987/
• 关键词: 非線形光学; レーザープロセシング; ナノ光工学; 表面プラズモン

金属ナノパターニング技術は，電子デバイスの微細電極形成技術としてだけでなく，プラズモニックデバイスやメタサーフェスなどの金属ナノ構造作製技術として光学分野においても重要視されている．主な作製手法として電子線リソグラフィによるリフトオフプロセスが挙げられ，微細かつ精密な金属ナノ構造体が作製されるため，研究開発分野において重宝されている．研究代表者らは，電子線リソグラフィや真空蒸着などの真空プロセスが不要かつフォトマスクが不要なレーザー光還元法による金属ナノパターニング技術を新たに開発した．パターニングにおいて，光強度分布だけでなく偏光分布も微細化に寄与していることを突き止めたため，光強度と偏光制御による新たな金属ナノパターニング技術の確立を目指す．本年度は，偏光・波面制御のための空間光位相変調器を新たに導入し，フェムト秒レーザー照射光学系に組み込んだ．変調器面がサンプル集光面とフーリエ面となるよう光学系を設計し直した．また，従来の照射光学系もそのまま利用できるよう光学系を構築した．さらに，光還元反応による金属析出性の向上という観点から材料開発に取り組んだ．現在使用している試料である硝酸銀混合ポリマーを基準として，ポリマー官能基のカルボキシル基に対して銀イオン濃度が３当量が適切値であり，４当量の場合，プリベーク時に溶媒が揮発することにより過飽和となり銀析出が生じることを明らかにした．

Metal structure fabrication technology, electron microelectrode formation technology, metal structure fabrication technology, optical separation technology, etc. The main manufacturing method is to study the development of fine metal structures, and to study the development of fine metal structures. The research representative said that the electronic wire separation technology, vacuum evaporation technology, vacuum evaporation technology, metal separation technology and new development. The light intensity distribution is divided into two parts, namely, the polarization distribution is divided into two parts, and the polarization distribution is divided into two parts. This year, a new spatial light phase modulator for polarized light wave control was introduced. The design of optical system is straightforward. The illumination optical system is constructed by using the illumination optical system. In this case, the light element reaction is the upward direction of metal precipitation and the material development is selected. Now, when the silver nitrate mixture is used as a standard, the functional group is mixed with silver and the concentration of silver is 3 equivalents. When the concentration is 4 equivalents, the solvent is dissolved.

项目成果

金属ナノ構造作製技術とプラズモニックセンシングへの応用

金属纳米结构制备技术及其在等离子体传感中的应用

• 发表时间: 2023
• 作者: Karanikolas Vasilios;Iwasaki Takuya;Henzie Joel;Ikeda Naoki;Yamauchi Yusuke;Wakayama Yutaka;Kuroda Takashi;Watanabe Kenji;Taniguchi Takashi;小野篤史
• 通讯作者: 小野篤史

多光子励起光還元法による銀微細周期構造の作製

多光子激发光还原法制备细周期银结构

• 发表时间: 2023
• 作者: 竹本 美由紀;下瀬 瑞貴;ミゼイキス ビガンタス;小野 篤史
• 通讯作者: 小野 篤史