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先端産業関連化合物中の有害元素の制御・処理

先进工业化合物中有害元素的控制与处理

基本信息

批准号：
04202123
负责人：
高月紘
金额：
$ 11.52万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1992
资助国家：
日本
起止时间：
1992 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は先端産業関連の研究、開発、生産、および製品に使用される各種化学物質のうち、有害で、かつ環境汚染を生起する可能性のある元素、とくにスズ、ヒ素、セレンなどの半金属元素を含む化合物を対象として、その制御、処理方式の確立を目指すものであり、次の研究成果を得た。(1)IC製造に伴いガリウム・ヒ素暴露を受けている作業者について3年間にわたり、小規模企業IC作業者、研究所勤務開発担当者、大企業IC作業者の3つの調査を行った結果、血液学的所見・肝機能所見にいずれも著明な変化を得なかった(池田)。(2)半金属化合物ガスの捕集と分析方法について検討し、ジボラン、シラン、ホスフィン、アルシン、ゲルマンおよびセレン化水素のガスが混在する場合の捕集、脱着方法を確立した。(3)液体イオン化質量分析法による海中ならびに貝中の有機スズ化合物を検出するための前段分離、濃縮方法の検討、ならびに検出感度向上を行った(土屋)。(4)重水素ラベル体のトリブチルスズ(TBT)およびトリフェニルスズ(TPT)を内部標準とするガスクロマトグラフ質量分析法を検討した結果、海水試料について、TBT、TPT、DPTについて検出下限1ppt、DBTについて8pptを得た(森田)。(5)産業が地球の資源と環境に与えるインパクト研究として、電子機器の基板類の純水、塩水及び酸による金属流出実験の結果、酸による金属流出は純水や塩水より多いこと、特に鉛の流出が多いことが分かった(安井)。(6)有害廃棄物の廃棄形態に関し、廃棄物からの重金属の溶出機構について、初期流出と内部拡散、廃棄物の酸中和能力を考慮する必要性を示した(高月)。(7)半導体ドーピング用ガスであるホスフィンの乾式除去について検討し、種々の遷移金属塩化物を担持した処理剤について比べると、塩化第二銅を担持した場合に特に顕著な効果を発揮していることがわかった(手塚)。(8)金属イオンの化学形態別分析について検討し、Cr、Cu、Zn、La、Sn、Pbなどは高分子態で、Mg、Si、K、Ca、Sbなどは低分子態で存在することを示した(原口)。(9)環境微生物への有機スズ化合物の影響について検討し、水中の有機物を栄養源として増殖する一般的な従属栄養細菌はTBTが1μM程度まではその機能に影響されることなく有機物を代謝して増殖することを確認した(篠田)。

This research is related to the research, development, and production of cutting-edge industries, and the use of various chemical substances in products, harmful elements, and the possibility of environmental pollution.とくにスズ、ヒ素、セレンなどの Semi-metallic element をcontaining む compound を対 resembles として, The control and processing methods are established and the research results are obtained. (1) IC manufacturing company with three years of experience in the field, small-scale company IC operator, and research institute service manager The person in charge, IC operator of a large company, conducted a survey on the results of the 3rd survey, hematological findings and liver function findings, and published the results of the investigation. (2) Semi-metallic compound ガスのtrap and analysis methodsアルシン、ゲルマンおよびセレン Hydrogen のガスが is mixed in the する occasions and the method of catching and taking it off is not established. (3) Liquid chemical mass spectrometry method for organic chemical compounds in the sea and organic compounds in the seaするための Front-stage separation and concentration method, ならびに検出sensitivity, を行った(Tsuchiya). (4)Heavy water element ラベル体のトリブチルスズ (TBT) およびトリフェQuality analysis of ニルスズ (TPT) internal standard とするガスクロマトグラフThe test result of the method, the test result of the seawater sample, TBT, TPT, DPT test result is 1ppt, and the DBT test result is 8ppt (Morita). (5) Industrial earth's resources and environment and chemical research and development, electronic equipment substrates, pure water, chlorine water and acidic gold It belongs to the result of flowing out of 実験, acid and metal flowing out, pure water and water, and special lead and lead flowing out of many いことが分かった (Yasui). (6) Hazardous discarded materials, discarded form, dissolution mechanism, heavy metal dissolution mechanism, initial outflow, internal dispersion, acid neutralization ability of discarded materials, consideration of necessity, and indication of necessity (Takatsuki). (7) Semiconductor technology uses dry removal technology to remove migrating metal compounds and retain them. Handling 剤について比べると, changing the second copper を holding the した occasion に特に顕与なeffect を発动していることがわかった (Tezuka). (8) Chemical morphology analysis of metal materials: Cr, Cu, Zn, La, Sn, Pb High molecular state, Mg, Si, K, Ca, Sb, and low molecular state exist. (9) The influence of environmental microorganisms and organic compounds, the source of organic matter in water, and the growth and reproduction of organic matter in water. The effect of bacterial TBT on the function of 1 μM and the metabolism of organic matter and the proliferation of bacteria have been confirmed (Shinoda).