気相エピタキシャル成長法による硫化亜鉛成長層の伝導性および発光色の制御

气相外延生长法控制硫化锌生长层的电导率和发光颜色

• 批准号: 04205054
• 负责人: 飯田 誠之
• 金额: $ 1.15万
• 依托单位: Nagaoka University of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1992
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1992 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-04205054/
• 关键词: 気相エピタキシャル成長; 伝導性制御; 格子パラメーター; 化学量論組成比; 硫化亜鉛; 不純物添加; フォトルミネッセンス

気相成長法で化合物構成元素の蒸気圧制御により可能であることを示した硫化亜鉛(ZnS)エピタキシャル層の伝導性制御技術を確実なものとするために以下の項目を目的に本年度の研究と行った。1)Zn蒸気圧とNH_3添加量に対する電気的・光学的特性の対応関係の精密化を行い、P型伝導度の制御性の向上を図る。2)発光中心を添加したP型層で発光色と伝導性の制御が分離して行えるか調べる。3)p-n接合形成を念頭にn型層の低坑率制御技術を検討する。1)については、無添加成長層とN添加層の基板面に無直方向の成長層の格子パラメーターが成長層のストイキオメトリーの変化に対応していると解釈できる結果が得られた。これはP型層の出現には化学量論組成のずれを生ずるような過剰なZn蒸気圧下でのNH_3の添加が有効であることを裏付ける結果である。しかし、更に制御性を向上するためには、発表論文に記したようなP型層に固有とみられる浅いドナー準位の起源が、不純物か、N導入に伴なら欠陥か、化学量論組成のずれに伴なう欠陥かのいずれによるかを明らかにすることが今後必要である。2)のP型層での発光色制御については、AgやAg_2Sを原料とし原料温度600〜1000℃でAgが関与した青色発光が観測される。しかしAgとNH_3同時添加層の特性制御は未だ出来ておらず、今後変調ドーピング的な手法まで含めて検討する必要がある。3)のn型伝導度の制御についてはZnCl_2とZnI_2がドーバント原料として適していると考えられる結果が得られているが、更に条件の最適化が必要である。

The chemical composition of phase-forming compounds is composed of several elements, such as steaming, controlling, controlling, curing, controlling, curing, curing 1) Zn steamer, NH_3 addition, optical properties, precision, precision, P-type temperature, temperature, 2) add "P" to "Light Center", "Light Color", "Light Color", "Control", "separate" and "separate" lines. 3) pmurn joint to form a low-rate control technology. 1) to add a long distance between the two sides of the substrate, and to make sure that the surface of the substrate is not in a straight direction. The results show that the results are good. It was found that the chemical composition of the compound was determined by the addition of NH _ 3 under the Zn steam. the results showed that the chemical composition of the chemical composition was different. You need to know that you have a problem. 2) P-type photochromism, agglomeration Ag _ 2S raw material, raw material temperature 600,1000C, Ag and cyan. At the same time, we added some special features to make sure that there is no error in the system, and that the method for the future test contains the necessary information. 3) the determination of temperature, temperature

项目成果

H.Kinto: "Phetoluminescence Studies of p-and n-type ZnS Layers Grown by Vapor Phase Epitaxy" J.Crystal Growth. 117. 348-352 (1992)

H.Kinto：“通过气相外延生长的 p 型和 n 型 ZnS 层的光致发光研究”J.Crystal Growth。