未利用廃棄物の再生技術に関する調査研究

関西大学を研究拠点として、全国の大学および研究所で活躍している研究者が協力することにより、液体、固体および気体の未利用廃棄物の有価物への再生技術について調査研究を実施した。液体廃棄物については、シリコンウエハー製造や電子部品製造、液晶製造などで用いられる各種エッチング操作で生じる混酸廃液、塩化第2鉄溶液、金属イオン含有廃液や無電解Pd, Niめっき廃液について、その発生量、今後の発生量の傾向、これらの液体廃棄物を有価物へ再生する技術について考えられる要素技術とそのプロセスについて調査を行った。固体廃棄物では、廃自動車のシュレッダーダスト、アルミ再生工程で発生するアルミドロスやアルミ残灰、石炭火力発電所から生じる石炭飛灰、各種焼却施設で発生する焼却飛灰、飲料食品製造工程から生じるビール粕、ホップ粕および醤油粕について、その発生量、今後の発生量の傾向、これらの固体廃棄物を有価物へ再生する技術について考えられる要素技術とそのプロセスを検討した。気体廃棄物では、半導体製造工程から生じるドライエッチングガス(NF_3,BCl_3,CF_4およびSiHCl_2)およびフロンガスや代替フロンガスについて、その発生量、今後の発生量の傾向、これらの気体廃棄物を有価物へ再生する技術について考えられる要素技術とそのプロセスについて調査した。これらの結果をもとにして、上述の廃棄物に対する再生技術とプロセスの環境に与える評価を行った。

関西大学を研究拠点として、全国の大学および研究所で活躍している研究者が協力することにより、液体、固体および気体の未利用廃棄物の有価物への再生技術について調査研究を実施した。液体廃棄物については、シリコンウエハー製造や電子部品製造、液晶製造などで用いられる各種エッチング操作で生じる混酸廃液、塩化第2鉄溶液、金属イオン含有廃液や無電解Pd, Niめっき廃液について、その発生量、今後の発生量の傾向、これらの液体廃棄物を有価物へ再生する技術について考えられる要素技術とそのプロセスについて調査を行った。固体廃棄物では、廃自動車のシュレッダーダスト、アルミ再生工程で発生するアルミドロスやアルミ残灰、石炭火力発電所から生じる石炭飛灰、各種焼却施設で発生する焼却飛灰、飲料食品製造工程から生じるビール粕、ホップ粕および醤油粕について、その発生量、今後の発生量の傾向、これらの固体廃棄物を有価物へ再生する技術について考えられる要素技術とそのプロセスを検討した。気体廃棄物では、半導体製造工程から生じるドライエッチングガス(NF_3,BCl_3,CF_4およびSiHCl_2)およびフロンガスや代替フロンガスについて、その発生量、今後の発生量の傾向、これらの気体廃棄物を有価物へ再生する技術について考えられる要素技術とそのプロセスについて調査した。これらの結果をもとにして、上述の廃棄物に対する再生技術とプロセスの環境に与える評価を行った。