フッ素化合物分子の電子散乱素過程の実験的研究

氟化合物分子基本电子散射过程的实验研究

• 批准号: 01632005
• 负责人: 西村 浩之
• 金额: $ 1.28万
• 依托单位: Niigata University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1989
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1989 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01632005/
• 关键词: 電子散乱; フルオロカーボン

1.エッチングプラズマで最も多く使われる分子として、CF_4とC_2F_6を選び、このプラズマの性質解明に重要な電子散乱断面積のうち、全電子散乱断面積測定を、電子エネルギー5〜500eVにわたって実施した。これらの分子については、部分的な研究は報告されているが、プラズマの解明のためには、資料としては不十分なので、系統的研究が必要である。2.装置は電子直進型で、分子との散乱による透過電子線の減衰を測るものであるが、散乱室内で散乱された電子や、散乱室から漏れ出る標的分子の量もわかるようになっている。装置は高真空の真空槽中に置かれ、油拡散ポンプからの油蒸気の逆拡散はヘリウム冷凍機で阻止し、実験結果の再現性をよくした。3.CF_4の断面積値は、エネルギー100eV以下では、ほゞ一定(19Å^2)である。100〜500eVでは、エネルギーをE(eV)とすると、173.6/√<E>で与えられる。又、栄(九大工)等が測定した弾性散乱断面積を利用して、非弾性散乱断面積を、20ー500eVにわたって推定した。C_2F_6の場合は、エネルギー90eV以下で、断面積値はほゞ一定(28Å^2)である。それ以上から500eVにわたる値は、280.8/√<E>(Å^2)で与えられる。一方WinterとInokutiは解離断面積を発表しているので、これを利用して、弾性散乱断面積を22ー300eVにわたって推定した。以上で当初の目標は達成された。4.今後、弾性散乱、振動励起、解離、電離等の断面積測定を系統的に実施する。尚、成果は公表するため、現在準備中である。

1. Determination of electron scattering area and total electron scattering area of molecular, CF_4 and C_2F_6 molecules. Some molecular studies are necessary, and some data are necessary. 2. Device electron straight forward type, molecule and scatter, through electron ray attenuation measurement, scatter room and scatter room, target molecular weight The device is placed in a high vacuum chamber, and the oil dispersion and reverse dispersion of the oil vapor are prevented by the refrigerator, and the reproducibility of the results is improved. 3. CF_4 cross-section area value is below 100eV. 100 ~ 500eV E(eV)<E>In addition, the measurement of the scattered area of the nine major factors, such as the use of non-scattered area, 20 - 500eV. In the case of C_2F_6, the cross-sectional area value is constant (28 ^2).それ以上から500eVにわたる値は、280.8/√ <E>(Å^2)で与えられる。A Winter Inokuti dissociation area is estimated to be 22 eV. The above objectives have been achieved. 4. In the future, the measurement of cross section area such as scattering, vibration excitation, dissociation and ionization will be carried out systematically. Still, the results are in the public table, and now they are ready.

项目成果

Hiroyuki Nishimura: "An Useful Method for the Determination of the Total Electron Scattering Cross Section" Jpn.J.Appl.Phys.

Hiroyuki Nishimura：“一种确定总电子散射截面的有用方法”Jpn.J.Appl.Phys。