フッ化炭素化合物分子の励起及び解離性イオン化の実験的研究

氟碳化合物分子激发与解离电离的实验研究

• 批准号: 02214211
• 负责人: 西村 浩之
• 金额: $ 1.09万
• 依托单位: Niigata University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1990
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1990 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-02214211/
• 关键词: 電離; 電子衝突; フッ化炭素化合物

本研究の目的は、エッチングプラズマの性質解明のために、フッ化炭素化合物、とりわけCF_4とC_2F_6の既存のデ-タを検討し、信頼しうるデ-タを提供することである。これら分子の電離は解離を伴うので、解離性電離の研究を全電離の側定から始める。これら分子の実験的研究は、Beran(20,35,70ev)やStephan等(しきい値から180eV)が部分的に行なっている。しかし彼らの方法は、相対測定値を別の方法で決まる絶対値に規格化するものである。我々は、このような手続きを要しない絶対測定を、より広い電子エネルギ-範囲にわたって行う。本研究で用いた装置はRappと同じ方式である。但し、我々は衝突室の標的分子数密度を直接測定した。入射電子エネルギ-は、しきい値から500eVまで。入射電流は1nA以下。衝突室でのガス圧力は50μTorr以下にした。順序として、先ずArの全電離断面積を測定した。この結果をBeranが使った基準値(Asundi)や、Stephanが使った基準値(Rapp)と比較したところ、Asundiの値は我々のものより20〜30%大きい。一方Rappの値は我々のものとよく合う。次にCF_4の全電離所面積を測定した。Beranの値は我々の結果と合うが、彼らが基準にしているArで合わないので、この一致は偶然である。他方、Stephan等の値は70eV以上で、我々の結果よりも30%以上も低い。C_2F_6の報告者は、今まではBeranのみで、それは我々の結果と一見、合っているが、これもCF_4の場合同様、偶然の一致であろう。既存の値と本研究結果との差は、方法の違いによる。我々は絶対測定によって、信頼度の高い結果を得、主目的の一つを達成した。今後、この結果を基準にして、これら分子の各衝突過程を研究する。本研究で購入した備品:電離真空計(GIーTL3RY)は真空槽の真空度監視に、パ-ソンルコンピュ-タ(PC9801RX)とXYプロッタ(MP4400)はデ-タ取り込みとその処理に、直流電源PDM35・3はイオン捕集のために用いた。

は の purpose, this study エ ッ チ ン グ プ ラ ズ マ の nature interpret の た め に, フ ッ carbon compounds, と り わ け CF_4 と C_2F_6 の existing の デ - タ を beg し 検, letter 頼 し う る デ - タ を provide す る こ と で あ る. <s:1> れら molecule <s:1> ionization <s:1> dissociation を accompanied by う <s:1> で, dissociative ionization <e:1> study を total ionization <e:1> determination ら ら beginning める. こ れ ら molecular の be 験 は, Beran (20),35,70 ev や Stephan, etc (し き い numerical か ら 180 ev) が part of line に な っ て い る. The ら <s:1> method ら, the corresponding determination value を, the <s:1> method で, the absolute まる, the に, the standardization する, the する, and the である. I 々 は, こ の よ う な hand 続 き を to し な い unique determination of seaborne を, よ り hiroo い electronic エ ネ ル ギ - van 囲 に わ た っ て う. In this study, で was used in the same way as じ である with the で た device, と Rappと. But <s:1>, I 々 々 the molecular number density of the target in the conflict chamber を is directly measured at た. Incident electrons: エネ ギ ギ- ギ, <s:1> ら エネ エネ value ら500eVまで. Incident current youdaoplaceholder0 less than 1nA. The pressure in the conflict chamber で ガス ガス is below ガス 50μTorr に た. Sequence: と て て, first ずAr, <s:1> total ionization cross-sectional area を, measure た た. こ の results を Beran が make っ た benchmark nt (Asundi) や, Stephan が make っ た benchmark nt (Rapp) と comparative し た と こ ろ, Asundi の numerical は I 々 の も の よ り 20 ~ 30% き い. One party 's Rapp <s:1> is worth 々, 々, <s:1>, とよく and う. The area of にCF_4 を total ionization was determined by を た. Beran の numerical は I 々 の result と う が, bel ら が benchmark に し て い る Ar で close わ な い の で, こ の consistent は accidentally で あ る. Other parties, Stephan et al., have a <s:1> value <e:1> of over 70eV and で, while my 々 <s:1> result shows that よ で is over 30% and is lower than で. C_2F_6 の reporter は, today ま で は Beran の み で, そ れ は I 々 の results と saw and っ て い る が, こ れ も CF_4 の others in a contract, accidental の consistent で あ ろ う. The existing <s:1> values と. The results of this study are と <s:1> inferior と and the methods are <s:1> inconsistent による による. I absolutely determined によって and the reliability is <s:1> high. The を result is を, and the main objective is <s:1> を を achieved た. In the future, the <s:1> <s:1> result を benchmark に に て て, and the を れら molecular <s:1> of each conflict process を will be studied する. This study で buy し た spare parts: ionization gauge (GI ー TL3RY) は vacuum degree of vacuum tank の surveillance に, パ - ソ ン ル コ ン ピ ュ - タ (PC9801RX) と XY プ ロ ッ タ (MP4400) は デ - タ take り 込 み と そ の 処 に, dc power PDM35 · 3 は イ オ ン capture の た め に with い た.

项目成果

H.Nishimura: "Ionization Cross Section of CF_4 and C_2F_6 by Electron Impact." J.Phys.Soc.Japan.

H.Nishimura：“CF_4 和 C_2F_6 的电子撞击电离截面。”