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反応性非平衡RFプラズマの診断

反応性非平衡RFプラズマの診断
反应性非平衡射频等离子体的诊断
批准号:
01632003
负责人:
菅原 実
金额:
$8.32万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份:
1989
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1989 至 --
关键词:

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RF放電電極シース内のイオン電導機構
  • 批准号:
    07650067
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $1.47万
  • 财政年份:
    1995
  • 负责人:
    菅原 実
  • 依托单位:
反応性非平衡RFプラズマの診断
  • 批准号:
    02214103
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $6.4万
  • 财政年份:
    1990
  • 负责人:
    菅原 実
  • 依托单位:
反応性非平衝RFプラズマの診断
  • 批准号:
    63632003
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $5.76万
  • 财政年份:
    1988
  • 负责人:
    菅原 実
  • 依托单位:
アフターグローにおけるスワーム実験の基礎研究
  • 批准号:
    X00040----520506
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Special Project Research
  • 资助金额:
    $0.64万
  • 财政年份:
    1980
  • 负责人:
    菅原 実
  • 依托单位: