反応性非平衝RFプラズマの診断

反应性非平衡射频等离子体的诊断

• 批准号: 63632003
• 负责人: 菅原 実
• 金额: $ 5.76万
• 依托单位: Gunma University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1988
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1988 至 1990
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-63632003/
• 关键词: 探針法; ダブルプルーブ法; シランプラズマの診断; 高周波放電; RF放電; 負イオン; オプトガルバノ効果; フォトンカウンテング法; 単探針; 複探針; シランプラズマの診断法; 低周波放電; モンテ・カルロシミュレーション; SF_6ガス放電

この研究は、最も共通性のある平行平板電極構造を持つ容量性RF放電リアクターを用い、アルゴンズスおよび反応性ガス(SiH4,SF6)中で放電の電気的、光学的な構造を、時間・空間分取しながら診断することを目的としている。今年度の成果を以下に述べる。1)RF反応性ガス放電プラズマ中におれるダブルプローブ法探針表面上への被膜防備策として加熱式プローブ法を開発し、SF6ガス、SiH4ガス中で成果を得た。次に、探針測定へのRF電位変動の影響を補う方法として、プルーブの回路系に、外部からRF電位を加え、シースにはRF電位変動が加わらない方式を考案した。その予備実験を行い、このアイデアをチェックした。2)RF放電イオンシース構造とその動的振る舞いRF放電の構造をDC放電と対比しながら、その電気的(電位分布、電荷分布)と光学的構造(負グロー、陽光注)をしらべている。今年はf=400kHz、13.56MHz、の場合で、負グロー出現のタイミングとその時間・空間的進展過程をフォトンカウンテング法により測定した。3)SF6ガス中で放電の進展過程高周波(f=30-500kHz)放電における発光の空間分布を測定し、両電極前面に比較的高い電界が存在する事を見出した。4)光脱離を用いた負イオン検出法の確立レーザーパルスの多重照射系を完成し、光脱離による負イオンの検出に成功した。これを用い、SF6ガス、f=30kHzの場合で計測し、放電電流が急上昇する直前に、アース電極から5mm離れた位置での負イオン密度として10/ccの値を得た。5)マルチカスププラズマ源としたプラズマの測定で、RFセルフバイアスが出現する事を観測した。

This research aims at the most common and parallel plate electrode structure, capacitive RF discharge, capacitive discharge and reflective discharge (SiH4,SF6), electrical and optical discharge structure, temporal and spatial separation and diagnosis. This year's achievements are described below. 1)RF reactive dielectric constant (RF) method, coating method, heating method, development, SF6, SiH4, etc. Next, the probe determines the influence of RF potential change on the method of adding RF potential to the circuit system, and the method of adding RF potential to the circuit. In the middle of the game, the game is over. 2)RF Li structure, DC Li structure, DC Li structure, This year, f=400kHz, 13.56 MHz, and the time and space progress of the occurrence of negative waves are measured by the time and space method. 3) In the process of SF6 emission, the spatial distribution of light emission in high frequency wave (f=30-500kHz) was measured, and the existence of high frequency electric field in front of electrode was observed. 4)The light separation method is used to establish the multiple irradiation system of the light separation method, and the light separation method is successfully used to detect the light separation method For example, when the current is measured at f=30kHz, the discharge current rises sharply, and the electrode is 5mm away from the negative density. 5) Measurement of RF source and occurrence

项目成果

小林祥男、大手丈夫、加藤正明、菅原實: 電子学会論文誌A. 109-A. 69-75 (1989)

Yoshio Kobayashi、Takeshi Ote、Masaaki Kato、Minoru Sukawara：日本电子工程师学会汇刊 A. 69-75 (1989)

小林祥男、大手丈夫、加藤正明、菅原実: "清浄表面を保持する加熱式静電探針の基礎特性" 電気学会論文誌A. 109ーA. 69-75 (1989)

Yoshio Kobayashi、Tsuyoshi Ote、Masaaki Kato、Minoru Sukawara：“保持清洁表面的加热静电探针的基本特性”，日本电气工程师学会汇刊 A. 69-75 (1989)。

I.ISHIKAWA,S.SUGANOMATA,H.OZAKI,Y.NAKATANI,S.OHMOTO&Y.SAITO: "SPATIO-TEMPORAL OBSERVATION OF PHOTO-EMISSION FROM LOW FREQUENCY GLOW DISCHARGE IN SF6 GAS." XIX-ICPIG,PROCEEDINGS. 404-405 (1989)

石川、须贺又、保崎、中谷、大本

秋津哲也、桜田良雄: 山梨大学工学部研究報告. (1988)

Tetsuya Akitsu，Yoshio Sakurada：山梨大学工程学院研究报告（1988）。

I.ISHIKAWA,K.KOIKE,T.AKITSU,S.SUGANOMATA,&H.MATSUZAWA: "DETECTION TECHNIQUE OF NEGATIVE IONS BY PHOTODETACHMENT IN SF6 LOW FREQUENCY DISCHARGE" Jpn.J.Appl.Phys.

石川、小池小池、秋津、菅野三、