反応性非平衝RFプラズマの診断

反应性非平衡射频等离子体的诊断

• 批准号: 63632003
• 负责人: 菅原 実
• 金额: $ 5.76万
• 依托单位: Gunma University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1988
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1988 至 1990
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-63632003/
• 关键词: 探針法; ダブルプルーブ法; シランプラズマの診断; 高周波放電; RF放電; 負イオン; オプトガルバノ効果; フォトンカウンテング法; 単探針; 複探針; シランプラズマの診断法; 低周波放電; モンテ・カルロシミュレーション; SF_6ガス放電

この研究は、最も共通性のある平行平板電極構造を持つ容量性RF放電リアクターを用い、アルゴンズスおよび反応性ガス(SiH4,SF6)中で放電の電気的、光学的な構造を、時間・空間分取しながら診断することを目的としている。今年度の成果を以下に述べる。1)RF反応性ガス放電プラズマ中におれるダブルプローブ法探針表面上への被膜防備策として加熱式プローブ法を開発し、SF6ガス、SiH4ガス中で成果を得た。次に、探針測定へのRF電位変動の影響を補う方法として、プルーブの回路系に、外部からRF電位を加え、シースにはRF電位変動が加わらない方式を考案した。その予備実験を行い、このアイデアをチェックした。2)RF放電イオンシース構造とその動的振る舞いRF放電の構造をDC放電と対比しながら、その電気的(電位分布、電荷分布)と光学的構造(負グロー、陽光注)をしらべている。今年はf=400kHz、13.56MHz、の場合で、負グロー出現のタイミングとその時間・空間的進展過程をフォトンカウンテング法により測定した。3)SF6ガス中で放電の進展過程高周波(f=30-500kHz)放電における発光の空間分布を測定し、両電極前面に比較的高い電界が存在する事を見出した。4)光脱離を用いた負イオン検出法の確立レーザーパルスの多重照射系を完成し、光脱離による負イオンの検出に成功した。これを用い、SF6ガス、f=30kHzの場合で計測し、放電電流が急上昇する直前に、アース電極から5mm離れた位置での負イオン密度として10/ccの値を得た。5)マルチカスププラズマ源としたプラズマの測定で、RFセルフバイアスが出現する事を観測した。

こ の research は, most も convergence の あ る parallel plate electrode structure を hold つ capacity sex RF discharge リ ア ク タ ー を い, ア ル ゴ ン ズ ス お よ び anti 応 sex ガ ス (SiH4, SF6) で discharge の 気, optical な structure を, time, space divide し な が ら diagnosis す る こ と を purpose と し て い る. The を achievements of this year are described below in に べる. 1) RF anti 応 ガ ス discharge プ ラ ズ マ in に お れ る ダ ブ ル プ ロ ー ブ method to probe on the surface of へ の capsule preparedness policy と し て heating プ ロ ー ブ method を open 発 し, SF6 ガ ス, SiH4 ガ ス で results in を た. に, probe measurement へ の RF voltage variations influencing を の う methods と し て, プ ル ー ブ の loop に, external か ら RF potential を え, シ ー ス に は RF voltage - move が plus わ ら な い way を test case し た. Youdaoplaceholder0 そ prepare for the を practice of を, <s:1> ア ア デアをチェッ デアをチェッ た た た. 2) the RF discharge イ オ ン シ ー ス tectonic と そ の の tectonic dynamic vibration る dance い RF discharge を DC discharge と than し seaborne な が ら, そ の electric 気 (potential distribution, charge distribution) と optical structure (negative グ ロ ー, sun) を し ら べ て い る. This year は f = 400 KHZ and 13.56 MHz, の で, negative グ ロ ー appear の タ イ ミ ン グ と そ の the progress of time, space を フ ォ ト ン カ ウ ン テ ン グ method に よ り determination し た. 3) SF6 ガ ス の progress で discharge process in high frequency (f = 30-500 KHZ) discharge に お け る 発 light の spatial distribution を determination し front, struck electrode に comparison of high い electricity industry が す る matter を show the し た. 4) light from を い た negative イ オ ン の 検 out method to establish レ ー ザ ー パ ル ス の を し, light from multiple exposure department に よ る negative イ オ ン の 検 に successful し た. こ れ を い, SF6 ガ ス, f = 30 KHZ の で measuring し, discharge current が hurry up す る ahead に, ア ー ス electrode か ら 5 mm from れ た position で の negative イ オ ン density と し て 10 / cc の numerical を た. 5) マ ル チ カ ス プ プ ラ ズ マ source と し た プ ラ ズ マ の で, RF セ ル フ バ イ ア ス が appear す る matter を 観 measuring し た.

项目成果

小林祥男、大手丈夫、加藤正明、菅原實: 電子学会論文誌A. 109-A. 69-75 (1989)

Yoshio Kobayashi、Takeshi Ote、Masaaki Kato、Minoru Sukawara：日本电子工程师学会汇刊 A. 69-75 (1989)

小林祥男、大手丈夫、加藤正明、菅原実: "清浄表面を保持する加熱式静電探針の基礎特性" 電気学会論文誌A. 109ーA. 69-75 (1989)

Yoshio Kobayashi、Tsuyoshi Ote、Masaaki Kato、Minoru Sukawara：“保持清洁表面的加热静电探针的基本特性”，日本电气工程师学会汇刊 A. 69-75 (1989)。

I.ISHIKAWA,S.SUGANOMATA,H.OZAKI,Y.NAKATANI,S.OHMOTO&Y.SAITO: "SPATIO-TEMPORAL OBSERVATION OF PHOTO-EMISSION FROM LOW FREQUENCY GLOW DISCHARGE IN SF6 GAS." XIX-ICPIG,PROCEEDINGS. 404-405 (1989)

石川、须贺又、保崎、中谷、大本

秋津哲也、桜田良雄: 山梨大学工学部研究報告. (1988)

Tetsuya Akitsu，Yoshio Sakurada：山梨大学工程学院研究报告（1988）。

I.ISHIKAWA,K.KOIKE,T.AKITSU,S.SUGANOMATA,&H.MATSUZAWA: "DETECTION TECHNIQUE OF NEGATIVE IONS BY PHOTODETACHMENT IN SF6 LOW FREQUENCY DISCHARGE" Jpn.J.Appl.Phys.

石川、小池小池、秋津、菅野三、