光ガルバノ分光によるメタン及びシランガス放電の陰極近傍における電界分布の計測

使用光学检流计光谱测量甲烷和硅烷气体放电阴极附近的电场分布

• 批准号: 01632510
• 负责人: 広瀬 千秋
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1989
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1989 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01632510/
• 关键词: プラズマ; 光ガルバノ分光; 電界分布

本年度は、OG分光法による放電プラズマ内の電界強度分布を測定の高精度化と簡便化を図るために自動測定システムの作製を行い、さらに、2種類のガスの混合比が電界分布におよぼす影響について調べるために電極間電圧を280Vで一定としたときのAr/He混合系のホロ-カソ-ド放電の陰極暗部にお刑る電界分布の測定を行った。作製したシステムの制御にはパ-ソナルコンピュ-タ-を用いており、このコンピュ-タ-により制御されるのは、1)レ-ザ-光の照射位置、2)レ-ザ-光の波長の掃引、3)OGシグナルを検出するためのロックインアンプの設定である。レ-ザ-光の照射位置の掃除は、放電管をマイクロメ-タ-のついたステ-ジに固定し、コンピュ-タ-により制御されたパルスモ-タ-によりマイクロメ-タ-を駆動することで行った。ステ-ジの最小移動距離は0.0025mmである。したがって、このシステムにおける空間分解能は照射するレ-ザ-ビ-ムのビ-ム径で決まり、それは約0.05mmである。得られたスペクトルはRS-232Cを通してコンピュ-タ-に取り込み、スム-ジングを行った後、同時に測定している参照スペクトルのヨウ素のレ-ザ-誘起蛍光スペクトルと2GHzのエタロンのフリンジからスペクトルの絶対波数を求めている。スペクトル線の波数は0.004cm^<-1>の精度で求められたので、注目したスペクトル線のシュタルク係数の精度から考えて電界強度は100V/cmの精度で求めることが出来ることが判った。作製したシステムによりAr/He混合系のホロ-カソ-ド放電の陰極暗部における電界分布の測定を行ったところ、陰極表面における電界強度は、Arの分圧に強く依存しHeの分圧にはほとんど影響を受けないことを見いだした。さらに、陰極暗部における空間電荷分布はHeの分圧に著しく依存することがわかった。メタンやシランを混入させた系では放電が安定しないため有意なデ-タは得られなかった。

This year, OG spectrophotometry has been used to determine the interfacial strength distribution in domestic electronics. High-precision, convenient, convenient, automatic and automatic measurement methods have been used in this year. 2. In the field of electrical engineering, the distribution of electrical energy is much higher than that in the electrical industry. 280V in the electrical field, it is necessary to improve the performance of the Ar/He mixed system. Use the device to control the noise, 1) to illuminate the position of the light, 2) to introduce the wavelength of the light, and 3) to use the OG to display the setting of the sensor. The radiation position should be removed, the radiation tube should be fixed, and the radiation position should be controlled and controlled. Contact-the minimum distance to move is due to the 0.0025mm location. The effect of space decomposition on temperature, temperature, Please tell me that you need to know the number of waves in the RS-232C system. After that, at the same time, you can determine the number of waves in the 2GHz system. The accuracy of the wavenumber is 0.004cm ^ & lt;-1>. Attention should be paid to the accuracy of the wave number, the strength of the electrical industry, the accuracy of the 100V/cm, the accuracy of the accuracy, the accuracy, the accuracy. In order to improve the performance of the hybrid system of Ar/He, the measurement of the distribution of the electrical industry in the dark, the determination of the strength of the electrical industry, the strength of the Ar and the dependence of the He are affected by the distribution of the electrical industry in the dark. The distribution of space charge in the dark is affected by the distribution of charge in the space. The He distribution is closely dependent on the temperature. I don't know. I don't know what to do.

项目成果

Akihide WADA,Hirok HONDO,Yukio ADACHI,Chiaki HIROSE: "MEASUREMENT OF THE ELECTRIC FIELD BY COMPUTER CONTROLLED OPTOGALVANIC SPECIROMETER" Proceedings the 7th symposium on PLASMA PROCESSING. 7. 196-200 (1990)

Akihide WADA、Hirok HONDO、Yukio ADACHI、Chiaki HIROSE：“通过计算机控制光电光谱仪测量电场”第七届等离子体处理研讨会论文集。