光ガルバノ分光によるメタン及びシランガス放電の陰極近傍における電界分布の計測

使用光学检流计光谱测量甲烷和硅烷气体放电阴极附近的电场分布

• 批准号: 01632510
• 负责人: 広瀬 千秋
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1989
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1989 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01632510/
• 关键词: プラズマ; 光ガルバノ分光; 電界分布

本年度は、OG分光法による放電プラズマ内の電界強度分布を測定の高精度化と簡便化を図るために自動測定システムの作製を行い、さらに、2種類のガスの混合比が電界分布におよぼす影響について調べるために電極間電圧を280Vで一定としたときのAr/He混合系のホロ-カソ-ド放電の陰極暗部にお刑る電界分布の測定を行った。作製したシステムの制御にはパ-ソナルコンピュ-タ-を用いており、このコンピュ-タ-により制御されるのは、1)レ-ザ-光の照射位置、2)レ-ザ-光の波長の掃引、3)OGシグナルを検出するためのロックインアンプの設定である。レ-ザ-光の照射位置の掃除は、放電管をマイクロメ-タ-のついたステ-ジに固定し、コンピュ-タ-により制御されたパルスモ-タ-によりマイクロメ-タ-を駆動することで行った。ステ-ジの最小移動距離は0.0025mmである。したがって、このシステムにおける空間分解能は照射するレ-ザ-ビ-ムのビ-ム径で決まり、それは約0.05mmである。得られたスペクトルはRS-232Cを通してコンピュ-タ-に取り込み、スム-ジングを行った後、同時に測定している参照スペクトルのヨウ素のレ-ザ-誘起蛍光スペクトルと2GHzのエタロンのフリンジからスペクトルの絶対波数を求めている。スペクトル線の波数は0.004cm^<-1>の精度で求められたので、注目したスペクトル線のシュタルク係数の精度から考えて電界強度は100V/cmの精度で求めることが出来ることが判った。作製したシステムによりAr/He混合系のホロ-カソ-ド放電の陰極暗部における電界分布の測定を行ったところ、陰極表面における電界強度は、Arの分圧に強く依存しHeの分圧にはほとんど影響を受けないことを見いだした。さらに、陰極暗部における空間電荷分布はHeの分圧に著しく依存することがわかった。メタンやシランを混入させた系では放電が安定しないため有意なデ-タは得られなかった。

This year, the measurement of electrical boundary intensity distribution within the OG spectroscopic discharge circuit has been made highly precise and simple. Automatically measure the を図るためにシステムの璒行い, さらに, 2 types of のガスのmixing ratioが电界Distribution is affected by the influence of the electric pressure between the electrodes. The voltage between the electrodes is 280V. It is certain. Ar/He mixed system is used to measure the electric boundary distribution of the dark part of the cathode in the discharge. Used for productionいており、このコンピュ-タ-によりcontrolされるのは、1)レ-ザ-light irradiation position, 2)レ-ザ-light wavelength sweep, 3)OGシグナルを検出するためのロックインアンプのSETである. The irradiation position of the レ-ザ-light is cleaned, the discharge tube is fixed, and the discharge tube is fixedされたパルスモ-タ-によりマイクロメ-タ-を駆动することで行った. The minimum moving distance of ステ-ジの is 0.0025mmである.したがって、このシステムにおけるSpace decomposition energy は irradiation するレ-ザ-ビ-ムのビ-ム diameter でdetermination まり, それは is about 0.05mmである.德られたスペクトルはRS-232Cを通してコンピュ-タ- After taking the り込み and スム-ジングを行った, measure the している reference at the same timeスペクトルのヨウ素のレ-ザ-inducing light スペクトルと 2GHzのエタロンのフリンジからスペクトルの久対波numをquest めている. The precision of the wave number of the スペクトル line is 0.004cm^<-1>, the precision of the められたので, and the attention of the したスペクトル线のシThe precision of the ュタルク coefficient is tested and the electric field strength is 100V/cm. The precision is calculated and the test is judged. Production of Ar/He mixed system Ar/He mixed system discharge cathode dark part measurement of electric boundary distribution measurement line , The electric boundary strength of the cathode surface is におけるThe electric boundary strength of Ar is dependent on しHeThe divided pressure of にはほとんど is affected by the けないことを见いだした.さらに, cathode dark part における space charge distribution はHe の volts に し く す る こ と が わ か っ た. The メタンやシランを is mixed with the させた system では discharge が stabilization しないため intentional なデ-タはget られなかった.

项目成果

Akihide WADA,Hirok HONDO,Yukio ADACHI,Chiaki HIROSE: "MEASUREMENT OF THE ELECTRIC FIELD BY COMPUTER CONTROLLED OPTOGALVANIC SPECIROMETER" Proceedings the 7th symposium on PLASMA PROCESSING. 7. 196-200 (1990)

Akihide WADA、Hirok HONDO、Yukio ADACHI、Chiaki HIROSE：“通过计算机控制光电光谱仪测量电场”第七届等离子体处理研讨会论文集。