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傾斜化プロセスの高分解能分析電顕内その場観察

使用分析电子显微镜对分级过程进行高分辨率原位观察

基本信息

批准号：
08243227
负责人：
坂公恭
金额：
$ 1.34万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1996
资助国家：
日本
起止时间：
1996 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-08243227/
关键词：
電顕内その場加熱実験高分解能観察 Si SiC

项目摘要

傾斜化プロセスの最適化のためには固体-固体、固体-液体、固体-気体間の反応の要素過程を理解することが必要である。本研究では最近開発した、1500℃という高温でも原子レベルでの高分解能その場観察が可能で、かつ元素分析が可能な電子顕微鏡内その場加熱ホルダーを用いて傾斜化過程の直接高分解能観察を試みた。即ち、Siの粉末と黒鉛の粉末を同時に加熱フィラメント上に付着させ、1400〜1500℃に加熱し、Si+C*SiC反応によってSiCの合成を行った。加熱前後の電顕写真および回折図形の比較より、加熱前では単結晶Siの回折斑点と黒鉛のDebye ringが観察されるのに対して、加熱後には全く別の回折斑点が現れており、SiCが形成されたと結論した。一部では未反応のため黒鉛が残留しており、SiC/Cの傾斜化が達成されていた。これらの過程を高分解能観察し、傾斜化過程を原子レベルで明らかにした。これらの成果は科学誌に論文として公表されるとともに、平成8年7月に開催された「第8回異相界面/粒界に関する国際会議」、および平成8年11月に開催されたMRSで発表した。また、平成9年1月にアリゾナ州立大学で開催された「界面の原子構造と化学に関するワークショップ」で招待講演を行った。

It is necessary to understand the essential processes of solid-solid, solid-liquid and solid-gas reaction for optimization of tilt mechanism. In this study, it is possible to detect the high decomposition energy of atomic particles at high temperatures of 1500℃ and 1500℃, and it is possible to detect the high decomposition energy of atomic particles directly in electron microscopes. That is, Si powder and black lead powder are heated at the same time. The temperature is 1400 ~ 1500℃. Si+C*SiC is synthesized. Comparison of the electric field before and after heating and the reflection pattern of the black lead ring before and after heating; observation of the reflection pattern of the crystalline Si before and after heating; formation of SiC; conclusion A part of the anti-anti-anti- The process of decomposition can be observed at high energy, and the process of inclination can be observed at high energy. The results of this scientific journal were published in July 2008, and the "8th International Conference on Heterogeneous Interface" was published in November 2008. In January 2009, he gave a lecture on "atomic structure and chemistry of interfaces."