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Mechanism of formation of voids by laser

Mechanism of formation of voids by laser
激光形成空隙的机理
批准号：
20K05066
负责人：
坂 公恭
金额：
$2.66万
依托单位：
Aichi Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2020-04-01 至 2025-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20K05066/
关键词：
レーザボイドSiプラズマレーザ照射シリコン雰囲気

项目摘要

项目成果

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Siに透過性の赤外線レーザを照射すると、Si内部で種々の変化が起きる。その代表的なものが①ボイドの発生、②転位の形成、③亀裂の発生である。このうち、②および③はレーザ照射による局所的な温度上昇に起因するひずみによって説明ができる。問題は①のボイドの発生である。その機構に関しては様々な説が提唱されているが、いまだ解明されたとは言い難い。本研究は透過型電子顕微鏡などを駆使してその生成の機構を解明しようとするものである。本年度の研究の結果、ボイドは従来考えられていたような真空ではなく、レーザ照射により超高温に(14000℃）に加熱された結果、Siがプラズマ化したものであることを発見した。
期刊论文(6)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
パルスレーザ集光により生ずるサファイヤ結晶欠陥の性状と加工効率”
脉冲激光聚焦蓝宝石晶体缺陷特性及加工效率
DOI： --
发表时间： 2021
期刊： 愛知工業大学総合技術研究所の研究報告
影响因子： --
作者： [岩田博之, 河口大祐, 坂公恭]
通讯作者： 坂公恭
問題と解答 結晶電子顕微鏡学
问题与解答 晶体电子显微镜
DOI： --
发表时间： 2023
期刊：
影响因子： --
作者： [小西智久, 有田宗平, 伊藤征嗣, 小黒剛成, 坂　公恭]
通讯作者： 坂　公恭
Effects of Atmosphere and Temperature on Microtribology between Silicon Single Crystals
气氛和温度对硅单晶间微观摩擦学的影响
DOI： 10.2320/jinstmet.j2020014
发表时间： 2020
期刊： Journal of the Japan Institute of Metals and Materials
影响因子： 0.5
作者： [高木誠, 長江昂亮, 木内亮介, 岩田博之, 坂公恭]
通讯作者： 坂公恭
Whereabouts of missing atoms in a laser-injected Si (Part Ⅱ) Precision mass measurement of a laser-injected Si wafer and re-examination by transmission electron microscopy
激光注入硅中缺失原子的去向（第二部分）激光注入硅晶片的精密质量测量和透射电子显微镜复检
DOI： --
发表时间： 2021
期刊： 名古屋大学電子光学研究のあゆみ
影响因子： --
作者： [H.Saka, H.Iwata]
通讯作者： H.Iwata
共 6 条
    透過型電子顕微鏡内のその場観察用簡易型雰囲気ホルダーの開発
    • 批准号：
      16656194
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.3万
    • 财政年份：
      2004
    • 负责人：
      坂 公恭
    • 依托单位：
      Nagoya University
    生体用セラミック材料の表面強靭化
    • 批准号：
      15656154
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.24万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      坂 公恭
    • 依托单位：
      Nagoya University
    超強加工による純鉄の非晶質相の形成
    • 批准号：
      13875116
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额：
      $1.41万
    • 财政年份：
      2001
    • 负责人：
      坂 公恭
    • 依托单位：
      Nagoya University
    電子顕微鏡内その場加熱実験によるカーボンアロイングの研究
    • 批准号：
      11124220
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
    • 资助金额：
      $1.22万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      坂 公恭
    • 依托单位：
      Nagoya University
    海外基金