权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

映像・音響情報機能パッケージングの研究

视音频信息功能封装研究

基本信息

批准号：
14040207
负责人：
越田信義
金额：
$ 2.88万
依托单位：
Tokyo University of Agriculture and Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
2002
资助国家：
日本
起止时间：
2002 至 2003
项目状态：
已结题

项目摘要

研究計画に記載の項目に沿って、得られた成果をまとめる。(1)弾道電子生成・放出効率および音波発生効率の向上・短光パルス励起による電子輸送・光電子エネルギー分布の測定解析により,弾道電子生成と放出の効率を向上するために必要なナノ結晶シリコン層の構造制御法を固めた。・熱音響変換の基本となる表面電極形状と配置をフォトリソグラフィのレベルで微細・アレイ化し,音波発生効率に対するスケーリング効果とパルス駆動方式の有効性を確認した。(2)ディスプレイと音源への応用の基礎的検討・特性を向上させた弾道電子放出素子について、電子の放出角度分散,エミッションの長期安定性や真空度依存性など,平面ディスプレイの励起源としての適用可能性を定量的に検証した。・熱誘起超音波放出特性を,最高音圧出力,上限・下限動作周波数,ダイナミックレンジ,などの面から詳細に解析し、それらの知見を基に適正な駆動方式を確立した。(3)光・音情報機能パッケージング基盤技術の検討・弾道電子素子については,放出電子により蛍光体を励起する真空方式と並行して,ナノ結晶シリコン層表面に堆積した蛍光体膜を弾道電子によって直接励起する素子を開発した。・音波放出素子については,電極を微細・アレイ化した素子について位相制御した高周波駆動法を適用し,指向性をもった可聴領域の音波出力が効率的に得られることを実証した。・上記研究の蓄積に基づき,弾道電子励起面発光素子と位相アレイ化高帯域音波素子をシリコン基板上で融合したデバイスの概念設計を行い、プロセス技術の面から実現できる見通しを得た。

The research plan records the project progress and achievements. (1)The analysis of electron transport and photoelectron generation efficiency and acoustic emission efficiency is necessary to determine the structure of the crystal layer. The basic shape of the surface electrode of the thermal acoustic transducer is determined by the micro-structure of the surface electrode, and the effectiveness of the acoustic transducer is confirmed. (2)The basic analysis of the characteristics of the sound source, the upward adjustment of the electron emission element, the dispersion of the electron emission angle, the long-term stability and vacuum dependence of the sound source, and the quantitative analysis of the application possibility of the plane excitation source. Heat induced ultrasonic emission characteristics, maximum sound pressure output, upper limit and lower limit operation cycle number, detailed analysis of surface, knowledge base and appropriate operation mode are established. (3)The optical and acoustic information function is to explore the substrate technology, to release electrons, to excite the optical body, and to develop the optical film on the surface of the crystal layer. The acoustic emission element is fine, the electrode is fine, the phase control element is fine, the high frequency wave motion method is fine, the directivity is fine, the acoustic output is fine, and the directivity is fine. In this paper, we introduce the concept design of the integrated circuit on the substrate, and the realization of the integrated circuit technology.