Untersuchung der Reaktionschemie von Silizium-haltigen Precursoren in einem Mikroplasmajet mittels Molekularstrahl-Massenspektrometrie

《科学与技术》：《科学与技术》，《科学与技术》，《科学与技术》，《科学与技术》。Gelänge es allerdings, disese Plasmasynthese auch bei Atmosphärendruck zu beherrschen, ergäben sich zahlreiche Vorteile eine leichtere Integration der Plasmabeschichtung in Produktionsabläufe oder die Anwendung dieser Plasmen f<e:1>， bedenen das zubehandelnde object nicht dem真空ausgesetzt werden kann。齐尔·德·哈本斯·斯特拉斯，[j] .[0][0] .等离子体合成技术[0]。溶质薄膜、电子材料（Si:H）、扩散势垒（SiO2）。大足微等离子体是一种新型的微等离子体检测系统，适用于200微米微等离子体检测系统。在13.56 mhz -等离子体中，当Teilchenfluss和Argon oder Helium das Ablaufen einer Nichtgleichgewichtschemie gewährleistet。血浆硅烷-溴化单胞体的研究进展，研究进展与进展，研究进展与进展，研究进展与进展Oberfläche研究进展与进展<e:1>。本文首先介绍了微等离子体等离子体的反应机理，并用分子strastram - massenspectrometer进行了分析。光电特性与光电诊断技术的研究与应用。

Die Herstellung von dünnen Filmen aus beliebigen Precursoren ist herausragendes Anwendungsgebiet technischer Plasmen, die in der Regel bei niedrigen Drücken betrieben werden. Gelänge es allerdings, diese Plasmasynthese auch bei Atmosphärendruck zu beherrschen, ergäben sich zahlreiche Vorteile wie eine leichtere Integration der Plasmabeschichtung in Produktionsabläufe oder die Anwendung dieser Plasmen für biomedizinische Anwendungen, bei denen das zu behandelnde Objekt nicht dem Vakuum ausgesetzt werden kann. Ziel des Vorhabens ist es, die Herstellung von dünnen siliziumhaltigen Filmen mittels Plasmasynthese bei Atmosphärendruck zu realisieren. Solche Filme dienen als elektronische Materialien (Si:H) oder als Diffusionsbarrieren (SiO2). Dazu wird ein Mikroplasmajets bestehend aus einem System koaxialer Kapillaren mit einem Elektrodenabstand im Bereich von 200 Mikrometer verwendet. In dieser Anordnung wird ein 13.56 MHz-Plasma erzeugt, wobei der hohen Teilchenfluss an Argon oder Helium das Ablaufen einer Nichtgleichgewichtschemie gewährleistet. Injiziert man in dieses Plasma silan-haltige Monomere, so werden reaktive Teilchen erzeugt, die bei der Wechselwirkung mit einer Oberfläche zu Beschichtung führen. Es ist geplant, die Reaktionschemie in dem Mikroplasmajet mittels Molekularstrahl-Massenspektrometrie zu untersuchen. Die Charakterisierung der Entladung selbst erfolgt mittels passiver Emissionsspektroskopie und elektrischer Diagnostik.