Untersuchung der Reaktionschemie von Silizium-haltigen Precursoren in einem Mikroplasmajet mittels Molekularstrahl-Massenspektrometrie

使用分子束质谱法研究微等离子体射流中含硅前驱体的反应化学

• 批准号: 50561352
• 负责人: Professor Dr. Achim von Keudell
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Experimentalphysik II: Arbeitsgruppe reaktiver Plasmen
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2007-12-31 至 2011-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/50561352?language=en
• 关键词: Untersuchung; der; Reaktionschemie; von; Silizium

Die Herstellung von dünnen Filmen aus beliebigen Precursoren ist herausragendes Anwendungsgebiet technischer Plasmen, die in der Regel bei niedrigen Drücken betrieben werden. Gelänge es allerdings, diese Plasmasynthese auch bei Atmosphärendruck zu beherrschen, ergäben sich zahlreiche Vorteile wie eine leichtere Integration der Plasmabeschichtung in Produktionsabläufe oder die Anwendung dieser Plasmen für biomedizinische Anwendungen, bei denen das zu behandelnde Objekt nicht dem Vakuum ausgesetzt werden kann. Ziel des Vorhabens ist es, die Herstellung von dünnen siliziumhaltigen Filmen mittels Plasmasynthese bei Atmosphärendruck zu realisieren. Solche Filme dienen als elektronische Materialien (Si:H) oder als Diffusionsbarrieren (SiO2). Dazu wird ein Mikroplasmajets bestehend aus einem System koaxialer Kapillaren mit einem Elektrodenabstand im Bereich von 200 Mikrometer verwendet. In dieser Anordnung wird ein 13.56 MHz-Plasma erzeugt, wobei der hohen Teilchenfluss an Argon oder Helium das Ablaufen einer Nichtgleichgewichtschemie gewährleistet. Injiziert man in dieses Plasma silan-haltige Monomere, so werden reaktive Teilchen erzeugt, die bei der Wechselwirkung mit einer Oberfläche zu Beschichtung führen. Es ist geplant, die Reaktionschemie in dem Mikroplasmajet mittels Molekularstrahl-Massenspektrometrie zu untersuchen. Die Charakterisierung der Entladung selbst erfolgt mittels passiver Emissionsspektroskopie und elektrischer Diagnostik.

他们相信自己的前身是一群人，他们死在了他们的世界里。胶体和浆体是过敏反应的主要来源，所有的浆体都在生产过程中与浆体结合在一起。齐尔·德·沃哈本斯和赫斯特隆·冯·德·德·西利兹乌姆·哈尔蒂根的兄弟姐妹们都在为他们的工作而奋斗。Solche Filme dienen ALS Elektronische Materien(Si：H)On Als DiffusionsBarrieren(SiO_2)。大足想要得到的是澳大利亚的系统，卡皮拉伦和他的电子设备支持200米的速度。在柴油机的13.56兆赫的等离子体中，我们的工作是用氦气作为Ablaufen的光源，而不是氦气。一个穿着血浆的人，就是这样的人，他的工作也是如此，我们的工作也是如此。这是一个地理位置，也是一种特殊的设计方案。您的位置：我也知道>教育/科学/教育/科学/科学/技术。