Fundamental Investigation of Ultrasonic Vibration Assisted MCF (Magnetic Compound Fluid) Polishing for Micro-Precision Shape

超声波振动辅助MCF（磁性复合流体）抛光微精密形状的基础研究

• 批准号: 16K17998
• 负责人: Nomura Mitsuyoshi
• 金额: $ 2.58万
• 依托单位: Akita Prefectural University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2016-04-01 至 2018-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-16K17998/
• 关键词: 超音波振動; 磁気混合流体(MCF); 仕上げ研磨; 表面粗さ; 材料除去量; 超音波援用研磨; 仕上げ加工; MCFスラリー; 精密研磨; 機械加工; 研磨; MCF

项目成果

Fundamental Investigation of Ultrasonic Vibration Assisted MCF(Magnetic Compound Fluid) Polishing

超声波振动辅助MCF（磁性复合流体）抛光的基础研究

• 发表时间: 2017
• 作者: Mitsuyoshi Nomura;Kenta Nojiri;Yongbo Wu and Tatsuya Fujii
• 通讯作者: Yongbo Wu and Tatsuya Fujii

超音波援用MCF研磨による基本加工特性の評価

超声波辅助 MCF 抛光的基本加工特性评估

• 发表时间: 2017
• 作者: 片桐健;井山徹郎;野尻 健太，野村 光由，呉 勇波，藤井 達也
• 通讯作者: 野尻 健太，野村 光由，呉 勇波，藤井 達也

MCFホールによるサファイアウエハの精密研磨 -MCFスラリーにおける寿命評価-

使用 MCF 孔对蓝宝石晶片进行精密抛光 - MCF 浆料中的寿命评估 -

• 发表时间: 2017
• 作者: Takeyuki Abe;Hiroyuki Sasahara;渡辺隆文，野村光由，藤井達也，須藤謙，呉勇波
• 通讯作者: 渡辺隆文，野村光由，藤井達也，須藤謙，呉勇波

MCF(磁気混合流体)研磨におけるMCFスラリーの長寿命化 MCFスラリーの再利用の検討および，その研磨特性の評価

延长MCF（磁性混合流体）抛光中MCF浆料的寿命检查MCF浆料的再利用并评估其抛光性能

• 发表时间: 2017
• 作者: Mitsuyoshi Nomura;Kenta Nojiri;Yongbo Wu and Tatsuya Fujii;牧田直也，野村光由，藤井達也，呉勇波
• 通讯作者: 牧田直也，野村光由，藤井達也，呉勇波