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Fundamental Investigation of Ultrasonic Vibration Assisted MCF (Magnetic Compound Fluid) Polishing for Micro-Precision Shape

Fundamental Investigation of Ultrasonic Vibration Assisted MCF (Magnetic Compound Fluid) Polishing for Micro-Precision Shape
超声波振动辅助MCF(磁性复合流体)抛光微精密形状的基础研究
批准号:
16K17998
负责人:
Nomura Mitsuyoshi
金额:
$2.58万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份:
2016
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2016-04-01 至 2018-03-31

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Fundamental Investigation of Ultrasonic Vibration Assisted MCF(Magnetic Compound Fluid) Polishing
超声波振动辅助MCF(磁性复合流体)抛光的基础研究
DOI: --
发表时间: 2017
期刊:
影响因子: --
作者: [Mitsuyoshi Nomura, Kenta Nojiri, Yongbo Wu and Tatsuya Fujii]
通讯作者: Yongbo Wu and Tatsuya Fujii
超音波援用MCF研磨による基本加工特性の評価
超声波辅助 MCF 抛光的基本加工特性评估
DOI: --
发表时间: 2017
期刊:
影响因子: --
作者: [片桐健, 井山徹郎, 野尻 健太,野村 光由,呉 勇波,藤井 達也]
通讯作者: 野尻 健太,野村 光由,呉 勇波,藤井 達也
MCFホールによるサファイアウエハの精密研磨 -MCFスラリーにおける寿命評価-
使用 MCF 孔对蓝宝石晶片进行精密抛光 - MCF 浆料中的寿命评估 -
DOI: --
发表时间: 2017
期刊:
影响因子: --
作者: [Takeyuki Abe, Hiroyuki Sasahara, 渡辺隆文,野村光由,藤井達也,須藤謙,呉勇波]
通讯作者: 渡辺隆文,野村光由,藤井達也,須藤謙,呉勇波
MCF(磁気混合流体)研磨におけるMCFスラリーの長寿命化 MCFスラリーの再利用の検討および,その研磨特性の評価
延长MCF(磁性混合流体)抛光中MCF浆料的寿命检查MCF浆料的再利用并评估其抛光性能
DOI: --
发表时间: 2017
期刊:
影响因子: --
作者: [Mitsuyoshi Nomura, Kenta Nojiri, Yongbo Wu and Tatsuya Fujii, 牧田直也,野村光由,藤井達也,呉勇波]
通讯作者: 牧田直也,野村光由,藤井達也,呉勇波