Development of laser-assisted wide angle three-dimensional atom probe and its application to atomic level characterization of true electronic devices

激光辅助广角三维原子探针的研制及其在真实电子器件原子级表征中的应用

• 批准号: 18GS0204
• 负责人: OWARI Masanori
• 金额: $ 293.03万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Creative Scientific Research
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18GS0204/
• 关键词: ナノ構造化学; 表面・界面ナノ構造; アトムプローブ; 電界蒸発; パルスレーザー; 収束イオンビーム加工; 微小引出し電極; 超高真空; シミュレーション; 質量分析; 収東イオンビーム加工

We developed three-dimensional atom probe(3DAP)that could visualize three-dimensionally the elemental identity and position of atoms in hundreds of cube nanometer in a material. Metals and carbonaceous materials were analyzed by using this method, and a new knowledge about laser ionization was obtained. Basic techniques for the three-dimensional analysis of real electronic devices were also established.

我们研制了一种三维原子探针（3DAP），它可以三维地显示材料中数百立方纳米内原子的身份和位置。利用该方法对金属和碳质材料进行了分析，获得了有关激光电离的新知识。还建立了真实的电子器件三维分析的基本技术。

项目成果

Scannng atom Probe Study of Characteristic Fragmentation of Biomolecules

生物分子特征断裂的扫描原子探针研究

• 发表时间: 2008
• 作者: O. Nishikawa;M. Taniguchi
• 通讯作者: M. Taniguchi

Study of Characteristic Fragmentation of Nanocarbon by the Scanning Atom Prob

扫描原子探针研究纳米碳的特征碎裂

• 发表时间: 2008
• 期刊: Journal of Vacuum Science and Technology A 26(no. 4)
• 作者: O. Nishikawa;他2名
• 通讯作者: 他2名

Shave-off depth profiling of dendritic short-circuit growth caused by ion migration

离子迁移引起的枝晶短路生长的削去深度分析

• 发表时间: 2006
• 期刊: Surface and interface analysis 38・12-13
• 作者: T.Yamamoto;A.Maekawa;Y.Ishizaki;R.Tanaka;M.Owari;M.Nojima;Y.Nihei
• 通讯作者: Y.Nihei

Study on Imidazolium-based Ionic Liquids with Scanning Atom Probe and Knuds en Effusion Mass Spectrometry

扫描原子探针和克努兹流出质谱法研究咪唑基离子液体

• 发表时间: 2008
• 期刊: Surface and Interface Analysis 40
• 作者: A. Tolstoguzov;他3名
• 通讯作者: 他3名

Study on Imidazolium-based Ionic Liquids with Scanning Atom Probe and Knudse Effusion Mass Spectrometry

扫描原子探针和努兹流出质谱法研究咪唑基离子液体

• 发表时间: 2007
• 作者: A.Tolstoguzov;他3名
• 通讯作者: 他3名