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Development of laser-assisted wide angle three-dimensional atom probe and its application to atomic level characterization of true electronic devices

Development of laser-assisted wide angle three-dimensional atom probe and its application to atomic level characterization of true electronic devices
激光辅助广角三维原子探针的研制及其在真实电子器件原子级表征中的应用
批准号：
18GS0204
负责人：
OWARI Masanori
金额：
$293.03万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Creative Scientific Research
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2010
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18GS0204/
关键词：
ナノ構造化学表面・界面ナノ構造アトムプローブ電界蒸発パルスレーザー収束イオンビーム加工微小引出し電極超高真空シミュレーション質量分析収東イオンビーム加工

项目摘要

项目成果

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We developed three-dimensional atom probe(3DAP)that could visualize three-dimensionally the elemental identity and position of atoms in hundreds of cube nanometer in a material. Metals and carbonaceous materials were analyzed by using this method, and a new knowledge about laser ionization was obtained. Basic techniques for the three-dimensional analysis of real electronic devices were also established.
期刊论文(53)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Scannng atom Probe Study of Characteristic Fragmentation of Biomolecules
生物分子特征断裂的扫描原子探针研究
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [O. Nishikawa, M. Taniguchi]
通讯作者： M. Taniguchi
Study of Characteristic Fragmentation of Nanocarbon by the Scanning Atom Prob
扫描原子探针研究纳米碳的特征碎裂
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： Journal of Vacuum Science and Technology A 26(no. 4)
影响因子： --
作者： [O. Nishikawa, 他2名]
通讯作者： 他2名
Shave-off depth profiling of dendritic short-circuit growth caused by ion migration
离子迁移引起的枝晶短路生长的削去深度分析
DOI： --
发表时间： 2006
期刊： Surface and interface analysis 38・12-13
影响因子： --
作者： [T.Yamamoto, A.Maekawa, Y.Ishizaki, R.Tanaka, M.Owari, M.Nojima, Y.Nihei]
通讯作者： Y.Nihei
Study on Imidazolium-based Ionic Liquids with Scanning Atom Probe and Knuds en Effusion Mass Spectrometry
扫描原子探针和克努兹流出质谱法研究咪唑基离子液体
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： Surface and Interface Analysis 40
影响因子： --
作者： [A. Tolstoguzov, 他3名]
通讯作者： 他3名
共 38 条
    Development of Active Site Atomic Resolution Microscopy
    • 批准号：
      16H03814
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $12.65万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      OWARI Masanori
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    Study on microscale chemical expenments for reduction of experiment wastes
    • 批准号：
      12680563
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.3万
    • 财政年份：
      2000
    • 负责人：
      OWARI Masanori
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    Development of a direct analysis technique for organic compounds adsorbed on environmental small particles
    • 批准号：
      10558081
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B).
    • 资助金额：
      $7.42万
    • 财政年份：
      1998
    • 负责人：
      OWARI Masanori
    • 依托单位：
      University of Tokyo
    Three-dimensional analysis of advanced industrial material using nano ion beam
    • 批准号：
      09450308
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $7.81万
    • 财政年份：
      1997
    • 负责人：
      OWARI Masanori
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    海外基金