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超音波による光機能素子の研究

超音波による光機能素子の研究
利用超声波的光学功能器件的研究
批准号:
X00040----211702
负责人:
御子柴 宣夫
金额:
$1.15万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份:
1977
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1977 至 --
关键词:

项目摘要

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次世代超LSI材料SiGeを拡散源としたSi中への不純物拡散の研究
  • 批准号:
    09650034
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $2.18万
  • 财政年份:
    1997
  • 负责人:
    御子柴 宣夫
  • 依托单位:
化合物半導体薄膜結晶の成長とその制御に関する研究
  • 批准号:
    01604001
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $16.51万
  • 财政年份:
    1989
  • 负责人:
    御子柴 宣夫
  • 依托单位:
有機金属用弱励起プラズマによるAl CVDの表面反応制御の研究
  • 批准号:
    63632503
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.73万
  • 财政年份:
    1988
  • 负责人:
    御子柴 宣夫
  • 依托单位:
ワイドギャップ窒化アルミニウム薄膜結晶成長とその制御
  • 批准号:
    62604513
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.66万
  • 财政年份:
    1988
  • 负责人:
    御子柴 宣夫
  • 依托单位: