光及び電子音響スペクトロスコピーの研究

光学和电声光谱研究

• 批准号: 60112003
• 负责人: 御子柴 宣夫
• 金额: $ 17.22万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Special Project Research
• 财政年份: 1985
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1985 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-60112003/
• 关键词: 光音響分光法; 光音響顕微鏡

固体材料の新しい評価法として、光及び電子音響スペクトロスコピーが注目されている。本研究では、研究サブセンター構想を中心に、系統的かつ広範囲な研究を行ない、材料及びデバイス評価技術としての光及び電子音響スペクトロスコピーの基礎の確立を目的としている。昭和60年度では、研究サブセンター及び各研究分担者において、下記のような研究成果が達成された。(1)研究サブセンターでは、紫外から赤外領域にわたる光源と広帯域光変調器を備えた光ビーム走査型音響スペクトロメータ、及び高周波電子ビーム変調機能を備えた電子ビーム走査型音響スペクトロメータを完成した。また、光熱放射法による表面プラズモンの研究に関して、本特定研究第5班の徳島大学のグループによる利用があった。(2)研究分担者:東北大学では、色素レーザ光を用いた光・熱放射顕微鏡により、GaAsウェーハ中の微小欠陥分布の非破壊非接触観察に成功した。東京大学では、熱弾性効果及びPn接合における空間電荷効果による電子音響信号発生モデルを完成し、電子音響像の解析に用いた。京都大学では、フェライトのレーザ光加工の際に発生する光音響信号と加工速度との相関を明らかにし、光音響信号によるレーザ光加工の自動焦点合わせの可能性を見出した。東京工業大学では、液中圧電トランスジューサ法の高感度化をはかり、GaAs上のZnSe、ZnSSe薄膜エピタキシャル層の評価を行ない、信号発生機構の手がかりと接合界面状態に関する知見を得た。金沢大学では、光熱偏向分光法により、非晶質SiN:H薄膜の光吸収係数を精度よく測定できた。大阪大学では、相関光音響顕微鏡を試作し、レーザアニールされたSi等の半導体の評価への応用に着手した。以上の様に、研究計画に沿って研究は進行しており、材料及びデバイス評価技術としての光及び電子音響分光法の基礎は確立しつつある。

The new method for solid materials is to pay close attention to the quality of solid materials, such as optical, optical and electrical sound. The purpose of this study is to ensure that the research center, the research center, the system, the research center, the research center, the research In the year of Zhaohe, the results of the research were completed in the year 60, and the results of the research were reviewed. (1) Research and development of optical equipment, ultraviolet light source, optical equipment, light source, optical equipment, and high-cycle electronic equipment. In this particular study, Class 5, German University, Germany University, (2) the contributors of the research: the North University, the pigment, the light, the radiation, the microcosmic distribution, the non-breaking, the non-contact, the success of the GaAs. In Beijing University, it is necessary to improve the performance of the computer audio signal and the analysis of the computer audio image. The results show that the space charge is affected by the Pn joint. The processing speed of optical and audio signals is related to the processing speed of optical processing students of Kyoto University. The possibility of automatic focus in optical processing is obvious. Beijing University of Technology, Beijing University of Technology, liquid temperature measurement, high-sensitivity testing, ZnSe on GaAs, ZnSSe film testing, signal generator equipment, manual contact interface, contact interface, and so on. The precision of optical absorption measurement of amorphous SiN:H thin film is higher than that of optical absorption method. Osaka University, Osaka University and so on. The above research programs and research programs will be carried out in the field of research, materials and technology, optical and electronic sound spectroscopic methods to ensure the establishment of a laboratory.

项目成果

Jpn.J.Appl.Phys.24巻-11号. (1985)

Jpn.J.Appl.Phys.Vol.24-No.11 (1985)。