光及び電子音響スペクトロスコピーの研究

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固体材料の新しい評価法として、光及び電子音響スペクトロスコピーが注目されている。本研究では、研究サブセンター構想を中心に、系統的かつ広範囲な研究を行ない、材料及びデバイス評価技術としての光及び電子音響スペクトロスコピーの基礎の確立を目的としている。昭和60年度では、研究サブセンター及び各研究分担者において、下記のような研究成果が達成された。(1)研究サブセンターでは、紫外から赤外領域にわたる光源と広帯域光変調器を備えた光ビーム走査型音響スペクトロメータ、及び高周波電子ビーム変調機能を備えた電子ビーム走査型音響スペクトロメータを完成した。また、光熱放射法による表面プラズモンの研究に関して、本特定研究第5班の徳島大学のグループによる利用があった。(2)研究分担者:東北大学では、色素レーザ光を用いた光・熱放射顕微鏡により、GaAsウェーハ中の微小欠陥分布の非破壊非接触観察に成功した。東京大学では、熱弾性効果及びPn接合における空間電荷効果による電子音響信号発生モデルを完成し、電子音響像の解析に用いた。京都大学では、フェライトのレーザ光加工の際に発生する光音響信号と加工速度との相関を明らかにし、光音響信号によるレーザ光加工の自動焦点合わせの可能性を見出した。東京工業大学では、液中圧電トランスジューサ法の高感度化をはかり、GaAs上のZnSe、ZnSSe薄膜エピタキシャル層の評価を行ない、信号発生機構の手がかりと接合界面状態に関する知見を得た。金沢大学では、光熱偏向分光法により、非晶質SiN:H薄膜の光吸収係数を精度よく測定できた。大阪大学では、相関光音響顕微鏡を試作し、レーザアニールされたSi等の半導体の評価への応用に着手した。以上の様に、研究計画に沿って研究は進行しており、材料及びデバイス評価技術としての光及び電子音響分光法の基礎は確立しつつある。