课题基金 / 基金详情

光及び電子音響スペクトロスコピーの研究

光及び電子音響スペクトロスコピーの研究
光学和电声光谱研究
批准号：
61104002
负责人：
御子柴 宣夫
金额：
$17.06万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1986
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1986 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-61104002/
关键词：
光音響スペクトロスコピー電子音響スペクトロスコピー光・熱放射顕微鏡電子線超音波顕微鏡光・熱偏向顕微鏡相関光響分光法

项目摘要

项目成果

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固体材料の新しい評価法として光及び電子音響スペクトロスコピーが注目されている。本研究では、材料及びデバイス評価技術としての光及び電子音響スペクトロスコピーの基礎の確立を目的とし、研究サブセンター構想を中心に系統的かつ広範囲な研究を行なった。研究サブセンター及び各研究分担者において、下記にあげる研究成果が達成された。(1)研究サブセンターでは、紫外から赤外領域にわたる光源と広帯域光変調器を備えた光ビーム走査型音響スペクトロメータ、及び電子ビーム変調機能を備えた電子ビーム走査型音響スペクトロメータが完成している。(2)研究分担者: 東北大学では、色素レーザ光を用いた光・熱放射顕微鏡を用いてInドープ無転移n型GaAsウエハの微少欠陥の非接触非破壊観察を行なった。東京大学では、電子線超音波顕微鏡を用いてSEMでは見えないSi-ICの表面下のクラックを観察した。京都大学では、レーザ加工の際に出る音波をPASを用いて検出した。東京工業大学では、マイクロホンやトランスジューサを用いたPASによりZnS,ZnSeSonGaAsのPAS信号について半導体表面のポテンシャルがきくことを明らかにした。大阪大学では、光音響顕微鏡を開発し、Siレーザアニール層をモニタした。金沢大学では、光熱偏向顕微鏡を開発し、a-SiH:Nの吸収係数をα=10【cm^(-1)】まで測定できる装置を開発した。その他の分担者においては、マイケルソン干渉法を用いたPASの開発、相関光音響分光法の開発、水中光音響信号計測用セルの開発、EAMによる表面波発生の理論の完成をおこなった。
期刊论文(69)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Hiromichi Nakamura;Kazuo Tsubouchi;Nobuo Mikoshiba;Tsuguo Fukuda: Jpn.J.Appl.Phys.24. L876-L879 (1985)
Hiromichi Nakamura；Kazuo Tsubouchi；Nobuo Mikoshiba；Tsuguo Fukuda：Jpn.J.Appl.Phys.24。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Hiromichi Nakamura;Kazuo Tsubouchi;Nobuo Mikoshiba: Proc.of 5th Symp.on Ultrasonic Electronics,Tokyo,1984 Jpn.J.Appl.Phys.-124Suppl.24. 222-224 (1985)
Hiromichi Nakamura；Kazuo Tsubouchi；Nobuo Mikoshiba：Proc.of 5th Symp.on Ultrasonic Electronics，东京，1984 Jpn.J.Appl.Phys.-124Suppl.24。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
御子紫宣夫,中村弘通,坪内和夫: 応用物理. 54. 483-487 (1985)
Nobuo Mikomura、Hiromichi Nakamura、Kazuo Tsubouchi：应用物理学 54. 483-487 (1985)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Takeda,K.: Photobiochem.Photobiophpys.(1987)
武田，K.：Photobiochem.Photobiophpys.(1987)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 69 条
    次世代超LSI材料SiGeを拡散源としたSi中への不純物拡散の研究
    • 批准号：
      09650034
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.18万
    • 财政年份：
      1997
    • 负责人：
      御子柴 宣夫
    • 依托单位：
      Tokyo Polytechnic University
    化合物半導体薄膜結晶の成長とその制御に関する研究
    • 批准号：
      01604001
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • 资助金额：
      $16.51万
    • 财政年份：
      1989
    • 负责人：
      御子柴 宣夫
    • 依托单位：
      Tohoku University
    有機金属用弱励起プラズマによるAl CVDの表面反応制御の研究
    • 批准号：
      63632503
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • 资助金额：
      $1.73万
    • 财政年份：
      1988
    • 负责人：
      御子柴 宣夫
    • 依托单位：
      Tohoku University
    ワイドギャップ窒化アルミニウム薄膜結晶成長とその制御
    • 批准号：
      62604513
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • 资助金额：
      $1.66万
    • 财政年份：
      1988
    • 负责人：
      御子柴 宣夫
    • 依托单位：
      Tohoku University
    海外基金