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光及び電子音響スペクトロスコピーの研究

光学和电声光谱研究

基本信息

批准号：
61104002
负责人：
御子柴宣夫
金额：
$ 17.06万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1986
资助国家：
日本
起止时间：
1986 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

固体材料の新しい評価法として光及び電子音響スペクトロスコピーが注目されている。本研究では、材料及びデバイス評価技術としての光及び電子音響スペクトロスコピーの基礎の確立を目的とし、研究サブセンター構想を中心に系統的かつ広範囲な研究を行なった。研究サブセンター及び各研究分担者において、下記にあげる研究成果が達成された。(1)研究サブセンターでは、紫外から赤外領域にわたる光源と広帯域光変調器を備えた光ビーム走査型音響スペクトロメータ、及び電子ビーム変調機能を備えた電子ビーム走査型音響スペクトロメータが完成している。(2)研究分担者: 東北大学では、色素レーザ光を用いた光・熱放射顕微鏡を用いてInドープ無転移n型GaAsウエハの微少欠陥の非接触非破壊観察を行なった。東京大学では、電子線超音波顕微鏡を用いてSEMでは見えないSi-ICの表面下のクラックを観察した。京都大学では、レーザ加工の際に出る音波をPASを用いて検出した。東京工業大学では、マイクロホンやトランスジューサを用いたPASによりZnS,ZnSeSonGaAsのPAS信号について半導体表面のポテンシャルがきくことを明らかにした。大阪大学では、光音響顕微鏡を開発し、Siレーザアニール層をモニタした。金沢大学では、光熱偏向顕微鏡を開発し、a-SiH:Nの吸収係数をα=10【cm^(-1)】まで測定できる装置を開発した。その他の分担者においては、マイケルソン干渉法を用いたPASの開発、相関光音響分光法の開発、水中光音響信号計測用セルの開発、EAMによる表面波発生の理論の完成をおこなった。

New methods of evaluation of solid materials: light and sound This study aims to establish the basis for the evaluation of materials, technologies, and electronic sound technologies. The results of the study were achieved by the research team and the research contributors. (1)Study on the light source and band light modulator in the field of ultraviolet and infrared light, and prepare the light source and band light modulator for the electronic inspection sound selection. (2)Study Contributor: Tohoku University, China. In the field of optical and thermal radiation microscopy, non-contact, non-destructive, non-shift n-type GaAs. University of Tokyo, Tokyo, Japan, Korea, Korea, South Korea, Japan, Korea, Japan, Korea, South Korea, South Korea, Japan, Korea, South Korea, South Korea, Kyoto University, Japan Tokyo Institute of Technology PAS signal of ZnS, ZnSe GaAs semiconductor surface Osaka University, Opto-acoustic Micro-mirror Development, Si The development of a photothermal deflection microscope and an absorption coefficient α=10 [cm^(-1)] for a-SiH:N at Kanazawa University Development of PAS, development of correlated photoacoustic spectroscopy, development of underwater photoacoustic signal measurement, and completion of theory of surface wave generation in EAM.