课题基金 / 基金详情

電子デバイス用新規フォトレジストの開発改良に関する研究

電子デバイス用新規フォトレジストの開発改良に関する研究
电子器件用新型光刻胶的开发与改进研究
批准号：
X00040----220307
负责人：
津田 穣
金额：
$0.96万
依托单位：
Chiba University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1977
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1977 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-X00040----220307/
关键词：

项目摘要

项目成果

津田 穣的其他基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
電子状態制御による特定ラジカルの生成と固体表面反応機構に関する量子化学的研究
  • 批准号：
    02214204
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $0.64万
  • 财政年份：
    1990
  • 负责人：
    津田 穣
  • 依托单位：
    Chiba University
電子状態制御による特定ラジカルの生成と固体表面反応機構に関する量子化学的研究
  • 批准号：
    01632503
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.28万
  • 财政年份：
    1989
  • 负责人：
    津田 穣
  • 依托单位：
    Chiba University
減圧MOCVDによるAlGaAs混晶成長の機構に関する研究
  • 批准号：
    61114001
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Special Project Research
  • 资助金额：
    $1.28万
  • 财政年份：
    1986
  • 负责人：
    津田 穣
  • 依托单位：
    Chiba University
高速粒子ビームと物質との相互作用の物理化学的研究
  • 批准号：
    58209009
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Special Project Research
  • 资助金额：
    $1.92万
  • 财政年份：
    1983
  • 负责人：
    津田 穣
  • 依托单位：
    Chiba University