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ガス絶縁の性能向上(SF_6)に関する基礎的研究 Spark Channel 形成過程

ガス絶縁の性能向上(SF_6)に関する基礎的研究 Spark Channel 形成過程
气体绝缘性能提升(SF_6)火花通道形成过程的基础研究
批准号:
X00210----175142
负责人:
下妻 光夫
金额:
$0.22万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份:
1976
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1976 至 --
关键词:

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プラズマCVD法による微細トレンチ内壁へのTiN膜低温形成基礎研究
  • 批准号:
    07650351
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $1.41万
  • 财政年份:
    1995
  • 负责人:
    下妻 光夫
  • 依托单位:
50HzプラズマCVDによるSiOx膜のGaAs表面保護膜低温形成基礎研究
  • 批准号:
    06650346
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $1.28万
  • 财政年份:
    1994
  • 负责人:
    下妻 光夫
  • 依托单位:
低周波プラズマCVD法によるポリマー上へのSi0x膜低温堆積に関する基礎研究
  • 批准号:
    04650254
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $1.28万
  • 财政年份:
    1992
  • 负责人:
    下妻 光夫
  • 依托单位:
低周波放電のプロセスプラズマとしての適用とその制御法の開発
  • 批准号:
    02214201
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $0.9万
  • 财政年份:
    1990
  • 负责人:
    下妻 光夫
  • 依托单位: