極微構造弾性表面波機能素子に関する研究
極微構造弾性表面波機能素子に関する研究
微结构声表面波功能器件研究
批准号：
58209006
负责人：
山之内 和彦
金额：
$1.92万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1983
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1983 至 --
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会议论文
電気化学効果を用いたナノメータ超微細加工プロセスと電子通信機能素子への応用
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批准号：06452226
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
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资助金额：$4.93万
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财政年份：1994
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负责人：山之内 和彦
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依托单位：
電子線超音波顕微鏡を用いた弾性表面波非破壊評価の研究
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批准号：60212005
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项目类别：Grant-in-Aid for Special Project Research
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资助金额：$0.96万
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财政年份：1985
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负责人：山之内 和彦
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依托单位：
電子線超音波顕微鏡を用いた弾性表面波非破壊評価の研究
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批准号：59220005
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项目类别：Grant-in-Aid for Special Project Research
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资助金额：$0.64万
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财政年份：1984
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负责人：山之内 和彦
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依托单位：
極微構造弾性表面波機能素子に関する研究
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批准号：57217006
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项目类别：Grant-in-Aid for Special Project Research
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资助金额：$3.84万
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财政年份：1982
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负责人：山之内 和彦
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依托单位：