電子線超音波顕微鏡を用いた弾性表面波非破壊評価の研究

电子束超声显微镜声表面波无损评价研究

• 批准号: 60212005
• 负责人: 山之内 和彦
• 金额: $ 0.96万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Special Project Research
• 财政年份: 1985
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1985 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-60212005/
• 关键词: 走査型電子顕微鏡; 弾性表面波; 光ファイバ; 非破壊評価

近年電子デバイスの飛躍的な発展に伴い、その素材となる電子材料の評価法に強い関心が向けられている。種々の評価法のうち、電子線を試料表面に断続的に照射し、熱弾性効果によって生ずる弾性波を検出して非破壊的に材料の評価を行う電子線超音波顕微鏡は他の顕微鏡では得られない情報を知ることができることから有用である。従来の電子線超音波顕微鏡では、超音波としてバルク波を利用し、その検出に圧電トランスジューサが用いられている。これに対し我々は電子線照射によってバルク波よりも弾性表面波が効率良く発生し得ることに着目し、評価の手段として表面波を利用するとともに表面波の検出手段として光ファイバセンサを用いた高性能電子線超音波顕微鏡を実現するために種々の研究を行っている。本研究の特長として、(1)表面波はバルク波よりも試料表面及び近傍の材質変化、欠陥に敏感であるから表面及び表面下の評価に適する。(2)光ファイバセンサは電磁場の影響を受けないのでこれまでの方式のように誘導障害の問題が解消され高感度でS/N比の良い検出が行える。(3)表面波の検出を非接融状態で行える、などがあげられる。本年度は 前年度に引きつづき、励振源としての電子線照射による弾性表面波発生の実験と理論解析を行うとともに、検出器としての光ファイバによる弾性表面波検出の実験を行い、高感度で弾性表面波を検出できることを確認した。更に、電子線超音波顕微鏡のシステムの試作を進めた。

In recent years, the electrical engineering exhibition companions and materials of the electronic engineering industry have made great efforts to improve the quality of the electronic materials. A variety of methods are used to detect the exposure to breakage on the surface of materials for power lines, and the results show that there is a non-destructive effect on the production of non-destructive materials, such as non-destructive materials, electrical cables, ultrasonic waves, micro-sensors, micro-sensors, and so on. In order to use the ultrasonic microphone, the ultrasonic signal, the ultrasonic wave, the ultrasonic wave. We use high-performance computer line ultrasound microscopes to detect high-performance ultrasonic waves. We use high-performance ultrasonic microscopes to detect high-performance surface waves. The characteristics of this study are as follows: (1) the surface of the material, the surface and the surface of the material, the surface and the surface, the surface and the surface of the material, the surface and the surface. (2) the influence of the magnetic field on the performance of the magnetic field is better than the solution of the problem of high sensitivity. (3) the surface wave shows that it is not in the state of fusion. In the previous year, in the previous year, the current year, the excitation source caused by the exposure of the cable to the transmission line, the generator was analyzed, and the device was used to detect the impact of the surface wave on the transmission line and the high-sensitivity surface wave. The power line, the supersonic wave, the microphone, the cable, the cable.

项目成果

IEE,Electronics Letters. 21-18. (1985)

IEE，电子通讯。