電気化学効果を用いたナノメータ超微細加工プロセスと電子通信機能素子への応用

1.陽極酸化アルミナレジストを用いた超微細電極作製プロセスの研究開発と50ナノメータ電極の実現電気化学作用である陽極酸化法を用いて、基板上のAl薄膜表面を5nm程度酸化し、その酸化膜をレジストとしてエッチングを行うプロセスを研究開発し、幅50nm、厚さ30nmのAl超微細電極を実現した。これにより、10nm以下の電極作製技術の基礎を確立した。2.17GHzコヒーレント弾性表面波の送受信に成功本研究により作製された弾性表面波励振用超微細すだれ状電極を用いて、17GHzコヒーレント弾性表面波の送受信に成功した。10GHz帯以上での、コヒーレント弾性表面波励振は世界的に例がなく、弾性表面波素子の適用周波数範囲として20GHz帯以上の可能性を示したものであり、その意義は大きい。3.10GHz帯フィルタの作製本研究により作製された、すだれ状電極を用いた弾性表面波フィルタにより、10GHz帯で挿入損失15.7dBのトップデータを得た。これにより、10GHz弾性表面波デバイスの実用化の見込みを得た。4.電気化学効果による選択エッチングを用いた微細電極作製プロセスの研究開発と一方向性すだれ状電極を用いた低損失フィルタの作製電気化学効果を用いた場合の、印加電圧とCrエッチングレートの関係を明らかにし、Al、Crの選択エッチングプロセスを研究開発した。これにより膜厚差を有するすだれ状電極の作製に重ね合わせ露光が不要になり、従来の適用周波数上限が約10倍になった。また、本方法で1GHz帯のフィルタを作製したところ、挿入損失2.9dBの特性を得た。これにより、膜厚差型一方向性すだれ状弾性表面波変換器の作製上の問題が解決され、その高効率特性を生かしたデバイスの研究開発が可能となった。

1.陽極酸化アルミナレジストを用いた超微細電極作製プロセスの研究開発と50ナノメータ電極の実現電気化学作用である陽極酸化法を用いて、基板上のAl薄膜表面を5nm程度酸化し、その酸化膜をレジストとしてエッチングを行うプロセスを研究開発し、幅50nm、厚さ30nmのAl超微細電極を実現した。これにより、10nm以下の電極作製技術の基礎を確立した。2.17GHzコヒーレント弾性表面波の送受信に成功本研究により作製された弾性表面波励振用超微細すだれ状電極を用いて、17GHzコヒーレント弾性表面波の送受信に成功した。10GHz帯以上での、コヒーレント弾性表面波励振は世界的に例がなく、弾性表面波素子の適用周波数範囲として20GHz帯以上の可能性を示したものであり、その意義は大きい。3.10GHz帯フィルタの作製本研究により作製された、すだれ状電極を用いた弾性表面波フィルタにより、10GHz帯で挿入損失15.7dBのトップデータを得た。これにより、10GHz弾性表面波デバイスの実用化の見込みを得た。4.電気化学効果による選択エッチングを用いた微細電極作製プロセスの研究開発と一方向性すだれ状電極を用いた低損失フィルタの作製電気化学効果を用いた場合の、印加電圧とCrエッチングレートの関係を明らかにし、Al、Crの選択エッチングプロセスを研究開発した。これにより膜厚差を有するすだれ状電極の作製に重ね合わせ露光が不要になり、従来の適用周波数上限が約10倍になった。また、本方法で1GHz帯のフィルタを作製したところ、挿入損失2.9dBの特性を得た。これにより、膜厚差型一方向性すだれ状弾性表面波変換器の作製上の問題が解決され、その高効率特性を生かしたデバイスの研究開発が可能となった。