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電気化学効果を用いたナノメータ超微細加工プロセスと電子通信機能素子への応用

利用电化学效应的纳米超精细制造工艺及其在电子通信功能器件中的应用

基本信息

批准号：
06452226
负责人：
山之内和彦
金额：
$ 4.93万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
财政年份：
1994
资助国家：
日本
起止时间：
1994 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

1.陽極酸化アルミナレジストを用いた超微細電極作製プロセスの研究開発と50ナノメータ電極の実現電気化学作用である陽極酸化法を用いて、基板上のAl薄膜表面を5nm程度酸化し、その酸化膜をレジストとしてエッチングを行うプロセスを研究開発し、幅50nm、厚さ30nmのAl超微細電極を実現した。これにより、10nm以下の電極作製技術の基礎を確立した。2.17GHzコヒーレント弾性表面波の送受信に成功本研究により作製された弾性表面波励振用超微細すだれ状電極を用いて、17GHzコヒーレント弾性表面波の送受信に成功した。10GHz帯以上での、コヒーレント弾性表面波励振は世界的に例がなく、弾性表面波素子の適用周波数範囲として20GHz帯以上の可能性を示したものであり、その意義は大きい。3.10GHz帯フィルタの作製本研究により作製された、すだれ状電極を用いた弾性表面波フィルタにより、10GHz帯で挿入損失15.7dBのトップデータを得た。これにより、10GHz弾性表面波デバイスの実用化の見込みを得た。4.電気化学効果による選択エッチングを用いた微細電極作製プロセスの研究開発と一方向性すだれ状電極を用いた低損失フィルタの作製電気化学効果を用いた場合の、印加電圧とCrエッチングレートの関係を明らかにし、Al、Crの選択エッチングプロセスを研究開発した。これにより膜厚差を有するすだれ状電極の作製に重ね合わせ露光が不要になり、従来の適用周波数上限が約10倍になった。また、本方法で1GHz帯のフィルタを作製したところ、挿入損失2.9dBの特性を得た。これにより、膜厚差型一方向性すだれ状弾性表面波変換器の作製上の問題が解決され、その高効率特性を生かしたデバイスの研究開発が可能となった。

1. The active acidizing process is based on the use of ultra-micro computers. The chemical action of Al films on the substrate is highly acidified. The surface of the Al film is acidified to a high degree of 5nm, and the acidizing film is activated. The results show that the ultra-micro computers are used in the research, and the 50nm and thick 30nm films are used in the ultramicro-electronic research. To ensure the establishment of technical and technical basic equipment at the level of 10nm and below. In this study, 2.17GHz was successfully used as an inductive surface wave exciter. The ultra-micro battery was used to excite the surface wave. The 17GHz sensor was successfully sent to the receiver. Examples of the world of surface wave excitation (10GHz), such as the number of cycles in the range of cycle number, the number of waves in the range of cycle number, the probability of the frequency range, the probability, the possibility, the possibility. The purpose of this study is to use transient surface wave imaging (3.10GHz) and 10GHz spectroscopy (10GHz) to evaluate the performance of the 15.7dB in this study. The results show that the surface waves of 10GHz are not sensitive to the use of surface waves. 4. The results of electrical chemistry choose to choose the use of micro-electronic devices in the field of electrical engineering, the use of micro-electronic devices, the use of directional electrical devices, the use of low-loss electrical devices in electrical chemistry, the use of low-loss electrical devices in electrical chemistry, the use of low-voltage microcomputers in electrical chemistry, the use of low-loss electrical devices in electrical chemistry, the use of low-loss devices in electrical chemistry, and the use of low-loss electronic devices in electrical chemistry. Al, Cr choose to use this kind of equipment, Al, and Cr to start the research on this topic. The difference between the thickness of the film and the thickness of the film is sensitive to the thickness of the film, the thickness of the film, the film thickness, the exposure temperature, the exposure temperature and the limit of the cycle wave number. In this method, the 1GHz is used to obtain the property of the lost 2.9dB. In order to solve the problem, the film thickness difference type one-direction differential surface wave filter is used to solve the problem, and the high rate characteristic is used to study the possibility of improving the quality of the film.