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Decomposition processes of hydrides such as diborane on heated metal catalysts
乙硼烷等氢化物在加热金属催化剂上的分解过程
基本信息
- 批准号：26410010
- 负责人：
- 金额：$ 2.5万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2014
- 资助国家：日本
- 起止时间：2014-04-01 至 2018-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（27）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Decomposition processes of H3NBH3 (borazane), (BH)3(NH)3 (borazine), and B(CH3)3 (trimethylboron) on heated W wire surfaces
- DOI：10.1016/j.cplett.2015.08.071
- 发表时间：2015-10
- 期刊：
- 影响因子：2.8
- 作者：H. Umemoto;A. Miyata;Takuto Nojima
- 通讯作者：H. Umemoto;A. Miyata;Takuto Nojima
Decomposition Processes of Diborane and Borazane (Ammonia-borane Complex) on Hot Wire Surfaces
乙硼烷和硼烷氨（氨硼烷络合物）在热丝表面的分解过程
- DOI：10.1016/j.tsf.2015.04.084
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：2.1
- 作者：Umemoto Hironobu;Kato Teruto;Takiguchi Masayuki;Takagi Seiji;Horibe Hideo;H. Umemoto and A. Miyata;H. Umemoto and A. Miyata
- 通讯作者：H. Umemoto and A. Miyata
Dependence of the Catalytic Decomposition of PH3 on Wire Material
PH3 催化分解对线材的依赖性
- DOI：10.1016/j.tsf.2014.10.015
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：2.1
- 作者：H. Umemoto;A. Miyata;and T. Nojima;H. Umemoto;H. Umemoto
- 通讯作者：H. Umemoto
Decomposition processes of diborane and borazane (ammonia-borane complex) on hot W wire surfaces
乙硼烷和硼烷氨（氨硼烷络合物）在热钨丝表面的分解过程
- DOI：
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：H. Umemoto;T. Kanemitsu;and A. Miyata
- 通讯作者：and A. Miyata
Gas-phase Diagnoses in Catalytic Chemical Vapor Deposition (Hot-Wire CVD) Processes
催化化学气相沉积（热丝 CVD）工艺中的气相诊断
- DOI：10.1016/j.tsf.2014.10.014
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：2.1
- 作者：H. Umemoto;A. Miyata;and T. Nojima;H. Umemoto
- 通讯作者：H. Umemoto
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Umemoto Hironobu其他文献
Effects of Nitrogen Dilution on the Photoresist Removal Rate by Hydrogen Radicals
氮气稀释对氢自由基去除光刻胶速率的影响
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243nm 丙烷多光子解离中氢原子的产生
- DOI：
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- 影响因子：0
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Removal of Novolac Photoresist with Various Concentrations of Photo-active Compound Using H<sub>2</sub>/O<sub>2</sub> Mixtures Activated on a Tungsten Hot-wire Catalyst
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使用氦氧混合物评估氧自由基对光刻胶的分解性能
- DOI：
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