低速アルカリイオン散乱による半導体表面超構造の解析

慢碱离子散射分析半导体表面超结构

• 批准号: 61540234
• 负责人: 尾浦 憲治郎
• 金额: $ 0.96万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1986
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1986 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-61540234/
• 关键词: 表面構造解析; 低速イオン散乱; 表面超構造

有力な表面構造解析法のひとつである、直衝突低速アルカリイオン散乱法を用いて、Si(111)表面の金属誘起超構造について研究を実施した。概要は以下の通りである。1.実験装置の整備 :【Na^+】イオンビーム(エネルギー;500〜1000eV)の入射角、方位角、散乱角等の操作を計算機制御することにより、測定の迅速化を実現した。これにより、例えば照射角依存を0°〜90°の範囲で約3分間で測定可能となった。2.Si(111)7×7表面上のpb膜:まづ、Si(111)面上にエピタキシャル成長したpb(111)膜についての実験から、【Na^+】イオンビームがpb原子で散乱される際のシャドーコーンを実験的に決定し、次にこの結果を用いて 【√!3】×【√!3】pb構造についての実験結果を解析し、その原子配列モデルを導いた。3.Si(111)7×7表面上のAu膜:Au吸着により誘起される2種類の超構造、【√!3】×【√!3】-Auと6×6-Auについて【Na^+】イオン散乱実験を行った。その結果、両者の近距離の原子配列構造は互いに類似していること、及び、6×6-Auについては6倍長周期に対応する長距離の秩序が存在すること等が見出された。4.新しい実験計画の検討:前述の実験と並行して、新しい形式の装置の設計を行った。これは、散乱された希ガス中性原子のエネルギーを飛行時間法により測定するためのものであり、この方式は原理的に多くのすぐれた特長を有することが予測されるので早急に実現すべく、現在、その概略設計を完了した段階である。

Strong surface texture analysis method, direct conflict, low speed analysis method, metal induced superstructure on Si(111) surface Summary of the following: 1. Equipment maintenance: Computer control of incident angle, azimuth angle, scatter angle, etc., for [Na^+], and rapid measurement of incident angle (500 ~ 1000eV). For example, the angle of illumination depends on the range of 0° ~ 90°, and the measurement time is about 3 minutes. 2. pb film on Si (111)7×7 surface: Si(111) surface, Si(1111) surface, Si (111) surface, Si (1111) surface 3】×【√! 3) pb structure analysis of the results of the implementation, the atomic arrangement of the results of the introduction 3. Au film on Si (111)7×7 surface:Au adsorption induced by 2 kinds of superstructures,[√! 3】×【√! 3]-Au 6×6-Au [Na^+] The results show that the atomic arrangement structure of the short distance is similar to that of the long distance structure of the long distance structure of the long distance 4. Discussion of new design projects: implementation of the aforementioned implementation and design of new forms of devices. The method of time of flight for neutral atoms is based on the principle of time of flight.

项目成果

K.Oura: Surface Science.

K.Oura：表面科学。

K.Oura: Surface Scievce.

K.Oura：表面科学。