Dynamische in situ-Untersuchung der Entstehung von kompressiven Spannungen in Bornitrid-Schichten und des Einflusses von Verunreinigungen und Wachstumsparametern

动态原位研究氮化硼层中压应力的发展以及杂质和生长参数的影响

• 批准号: 5214248
• 负责人: Dr. Wolfgang Fukarek
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1998-12-31 至 2003-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5214248?language=en
• 关键词: Dynamische; situ; Untersuchung; der; Entstehung

Ziel des beantragten Vorhabens ist die Reduzierung der intrinsischen kompressiven Spannungen in Schichten aus kubischem Bornitrid (c-BN). Dieses Ziel soll durch die Verbesserung des Verständnisses der zu den Spannungen führenden Mechanismen erreicht werden. Durch die simultane dynamische in-situ-Messung der Spannungen (tiefenaufgelöst) in Kombination mit in-situ-Ellipsometrie und die dynamische Phasenanalyse der aufwachsenden BN-Schicht mit in-situ-IR-Spektroskopie wird der Einfluß von Änderungen der Depositions-Parameter auf die Spannung und die Phasenbildung dynamisch analysiert. Hierbei wird insbesondere die Parametergrenze für den Übergang von c-BN nach h-BN mit Hinblick auf die Minimierung der intrinsischen Spannungen untersucht.Die abgeschiedenen BN-Schichten werden ex-situ hinsichtlich ihrer Zusammensetzung (mit Rutherford Backscattering Spectroskopy - RBS, Elastic Recoil Detection - ERD) und Struktur (HRTEM, Generalized Ellipsometry - GE) analysiert. Der Einfluß der Konzentration der natürlichen Verunreinigungen (O, Fe, W, Ar) in den unter Hochvakuum-(HV-)Bedingungen mit Hilfe der ionenstrahlgestützten Schichtabscheidung (IBAD) hergestellten BN-Schichten auf die Spannungen wird untersucht. Hierzu werden Schichten unter Ultrahochvakuum-(UHV-)Bedingungen durch Magnetron-Sputtern hergestellt und in-situ die inneren Spannungen und die BN-Phasenbildung analysiert.

Zil des beantragten Vorhabens ist die Reduzierung der ininsischen kompressiven Spannungen in Schichten Aus kubichem Bornitid(c-BN).所有的机械师都犯了错误。在Kombination MIT的现场省略分析和动态相分析中进行了现场同步动态分析-IR-Spektroskopie wird der Eifu？von Anénderungen der Der Defluévon An derderungen Dder Der Defluévon An derderungen der Desitions-参数auf die Spannung and die Phasenbildung Dynamisch Analysiert。这是一种基于参数的测量方法，适用于HRTEM(MIT Rutherford后向散射光谱-RBS，弹性反冲检测-ERD)和结构分析(HRTEM，广义椭圆法-GE)。在德国-(HV-)Bedingungen MIT Hilfe der Ionestrahlgten Schichtabscheidung(IBAD)Hersterellten BN-Schichten auf die Spannungen Wird Untersuht中，Der Efluüder der Konzentation der natürlichen Verunreigungen(O，Fe，W，Ar)in den Under Hochvakuum-(HV-)Bedingungen MIT Hilfe der Ionen strahlgten Schichtabscheidung(IBAD)hersterellten BN-Schichten auf die spannungen wird unterht。在超高真空(UHV-)Bedingungen(UHV-)Bedingungen磁控溅射(Magnetron-Sputtern hergellt)和原位(in-inneren spannungen)和BN-Phasenbildung分析的基础上，对Her-zu进行了Schichten Schichten和BN-Bedingungen的分析。