超高温プラズマ診断用ショットキ・ダイオード検出器の開発

超高温等离子体诊断用肖特基二极管检测器的研制

• 批准号: 62050008
• 负责人: 水野 皓司
• 金额: $ 1.92万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Fusion Research
• 财政年份: 1987
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1987 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-62050008/
• 关键词: サブミリ波; GaAsショットキ・バリアー・ダイオード; ストイキオメトリー; 雑音

本研究は, サブミリ波超高温プラズマ診断技術において不可欠な高感度, 高速応答のショットキ・バリアー・ダイオード(SBD)の性能向上及び各研究機関への供給を目的として実施された.1.SBDの性能向上SBD検出期の性能は, その感度と雑音特性の両方に依存する. SBDの雑音特性については従来不明な点が多かったが, 本研究ではGaAs表面のストイキオメトリー(GaとAsの組成比)に注目し, それをESCA(Electron Spectroscopy for Chamical Anolysis)で分析しながら雑音特性との関係を調べた. その結果次のようなことが明らかになった. (1)GaAs表面のストイキオメトリーは雑音特性に影響を及ぼし, 1:1に近づくほど雑音(20MHz 以上の領域)が小さい. (2)GaAs表面のストイキオメトリーを1:1に近づけるためには, アンモニア水のリンスが効果的であり, 20MHz 以上の雑音が3dB以上低減される. (3)20MHz 以上の雑音に対して, GaAs表面の酸化物の影響は少ない.2.SBDの供給本年度は2研究機関に10ヶのSBDを供給した. 尚, 本研究が科学研究費補助金で開始されて以来, これまでの供給SBDの総数は160ヶ余りになっている.

This study is aimed at improving the performance of SBD and achieving the objective of supply to various research institutions. 1. The performance of SBD depends on the sensitivity and acoustic characteristics of SBD. In this study, we focused on the surface properties of GaAs (Ga and As composition ratio), and analyzed the relationship between the acoustic properties of SBD and GaAs by ESCA(Electron Spectroscopy for Chamical Anolysis). The result is that it is not easy to get rid of. (1)GaAs surface noise characteristics influence the noise, 1:1 near noise (20MHz and above) is small. (2)GaAs surface noise ratio is 1:1, noise ratio is 3 dB or more for noise above 20MHz. (3) For noise above 20MHz, the influence of acid on GaAs surface is less. 2. SBD supply for this year is 10 MHz for 2 research institutes. The total number of SBDs supplied since the start of the research grant program has reached 160 million.

项目成果

水野皓司: 核融合研究. 51.1. (1984)

水野浩二：核聚变研究51.1（1984）。

鈴木 哲: 電子通信学会 電子デバイス研究会. EDDー86ー10. 71-78 (1986)

Satoshi Suzuki：电子与通信工程师学会电子设备研究小组。EDD-86-10 (1986)。

鈴木 哲: 応用物理. (1988)

铃木聪：应用物理学（1988）。

Koji Mizuno: Int,l J.Infrared & Millimeter Wave. 4.3. 321-325 (1983)

水野浩二：Int,l J.Infrared

水野 皓司: 電気学会 計測研究会. IMー85 7ー11. 11-19 (1985)

Koji Mizuno：日本电气工程师学会测量研究组 IM-85 7-11 (1985)。