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超高温プラズマ診断用ショットキ・ダイオード検出器の開発

超高温等离子体诊断用肖特基二极管检测器的研制

基本信息

批准号：
60050010
负责人：
水野皓司
金额：
$ 1.92万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Fusion Research
财政年份：
1985
资助国家：
日本
起止时间：
1985 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

サブミリ波領域の各種技術は、マイクロ波あるいは光領域の研究の延長として開発が進んでいるが、ショットキ・バリア・ダイオード(SBD)検出器はマイクロ波帯の研究に基づいて技術開発が行なわれているものである。その主な特長は、応答速度が早い(【10^(-8)】〜【10^(-9)】sec以上)という点にあり、ヘテロダイン検出用ミクサーとして用いた時、中間周波数が高く(広く)とれるという利点を有する。又、常温動作が可能な点も実用上大きな長所である。今年度の本研究の内容は、大きく3つに分けることが出来るが、以下夫々について概要を記す。1.ダイオードの製作プロセスの最適化。本研究のダイオードは、Pt/GaAsのショットキ障壁を用いているが、界面の安定化の為の熱処理に関しては、従来その最適条件が明らかになっていなかった。本研究では、直径【1μm^-】のダイオードに対して、種々の温度で熱処理を行い、ダイオードの直列抵抗、理想定数、雑音、降伏電圧を測定した。その結果サブミリ波検出器用ダイオード製作の最適条件として、300℃、5分の熱処理条件を得た。2.サブミリ波帯ミクサの性能測定。 Yファクタ法によるダイオードミクサの特性(雑音温度Tm、変換損失Lc)測定の技術をサブミリ波帯に拡張すべく、雑音信号源、光学系について検討を加え、その技術を確立した。これを用い、本研究で製作したダイオードは、890GHzにおいて、Tm=5500K、Lc=15dBと世界のトップデータを有することを明らかにした。3.ダイオードの供給。本年度は、6研究機関に総数30ヶのダイオード(一部アンテナマウント付)を供給した。

Various technologies in the field of optical communication are developed in the field of optical communication. The main frequency is high, the response speed is high (10 ^(-8))~10 ^(-9) sec or more), and the intermediate frequency is high (10 ^(-9) sec or more). In addition, normal temperature operation is possible. This year's research content, big 1. Optimization of production options. In this paper, the optimum conditions for the heat treatment of Pt/GaAs interface and its stability are studied. In this study, the temperature of the heat treatment, the resistance of the heat treatment, the ideal constant, the noise and the voltage drop were determined. The results show that the optimum conditions for the production of the single-wavelength detector are obtained at 300 ℃ for 5 minutes. 2. Determination of the performance of the The technology of measuring the characteristics of the optical system (sound temperature Tm, conversion loss Lc) is established. This study was conducted at 890GHz, Tm = 5500K, Lc = 15dB, and the world's highest frequency. 3. The supply of equipment. This year, 6 research institutions have a total of 30 research projects (one project).